Sistem Pelapisan Magnetron Sputter Multifungsi Meja Laboratorium

• Kustomisasi: Tersedia
• Bidang Aplikasi: Aeronautika, Otomotif, Elektronika, Marin, Alat Kesehatan, Minyak & Gas, Pembangkit Listrik, Kereta api
• Paket Transportasi: kotak kayu
• Tidak. Model.: Made-to-order
• Spesifikasi: disesuaikan
• Merek Dagang: rj
• Asal: Zhengzhou, China

Deskripsi Produk

 

 

Parameter	Spesifikasi
Material	Baja Antikarat
Catu Daya	Catu Daya DC
Peringkat Daya	3000W
Tipe	Sistem Lapisan
Aplikasi	Elektrode Riset/ Baterai ilmiah
Contoh	SD-650MHT
Pompa Foreline	2 l/mnt. (Pompa)
Vakum paling sempurna	5 ASCII [% s] 10<sup>-5</sup>  Pa
Filter Kabut Oli	Kartrid filter
Dimensi	TAMBAH BINTIK PADA 610 TAMBAH BINTIK DI TAMBAH PADA TAMBAH BINTIK DI TAMBAH 490 BINTIK PADA 420 MM.
Kemasan Material	Kotak kayu
Struktur elektroda	Planar
Tingkat kebocoran	[ 1.0 Tambah bintik di 10<sup>-8</sup>  Pa·m³/s
Sertifikasi	CE
Custom Manufacturing	Tersedia
Konfigurasi Target	Katode dua kali
Catu Daya Opsional	Catu Daya RF
Tahap Sampel	Tahap yang bisa diputar 200 mm
Ukuran Target	2-inci
Sistem Pendinginan	Berpendingin Air
Monitor Ketebalan	Opsional
Ukuran ruang	Penukar ASCII ASCII (-) Ø210 270
Waktu pemompaan	10 Pa → 3 Pa

Dimensi Unit Utama Instrumen

610 mm (L) x 420mm (W) x 90mm (H)

Spesifikasi ruang Vakum

• Ruang Logam Kinerja Tinggi:

  • Dimensi Eksternal: Ø260mm x H500mm

  • Dimensi Internal: Ø210mm x H270mm

Konfigurasi Katode Lanjutan: Sistem Target Ganda

Spesifikasi Target	Detail
Ukuran Target	Ø50mm x 3mm (Ketebalan bervariasi menurut material)
Target standar	Pada halaman Tambah, masukkan target Ø50mm sebagai penukar ASCII 3 mm + Ø50mm target pada Tambah bintik
Pendinginan Target	Berpendingin air
Vakum paling sempurna	Penukar ASCII ( 5-10<sup>-5</sup>  Pa) (mencapai 5 penukar ASCII 10<sup>-3</sup>  Pa dalam 10 menit)
Catu Daya	Suplai Arus konstan DC: - Input: 220V AC - Output: 0-600V, 0-1,6A Suplai RF & Matcher: 500W

Substrat Stage

• Diameter luas: 200mm

Sistem Gas

• Fleksibilitas Gas proses: Mengakomodasi Ar atau gas inert lainnya (diperlukan silinder dan regulator yang disediakan pengguna)

• Kontrol Gas: Kontrol Otomatis akurat melalui katup Aliran Solenoid dengan Pintasan Manual

Sistem Pendinginan yang efisien

Pengisian Mandiri sirkulasi Chler pada Negara sendiri

Pemantauan & Kontrol

• Pemantauan Ketebalan waktu nyata untuk Kontrol Lapisan presisi

• Antarmuka layar Sentuh untuk Pengguna

Kemampuan lapisan yang komprehensif

Aplikasi Serbaguna: Ferroelektrik/konduktif/Campuran/Campuran Semikonduktor/Keramik/dielektrik/Optik/Fluoride/Hard/PTFE Film tipis

Spesifikasi Listrik

• Tegangan andal: 220V 50Hz

• Daya permulaan: Kokoh 3KW

SD-650MHT Installation/Lingkungan Pengoperasian

Persyaratan Lokasi:

1. Pastikan penempatan pada meja yang kokoh (Minimum: Tambah penukar ASCII pada penukar ASCII, Kapasitas Beban ≥200kg)

2. Posisikan pompa putar eksternal dan pendingin secara optimal (Lantai/berdampingan dengan Unit Utama)

3. Bobot Sistem Total: 208-240kg yang dapat dikonfigurasi. Memerlukan tim empat orang untuk transportasi.

4. Kondisi Pengoperasian:

   • Suhu ideal: 15-25 C

   • Kontrol Kelembapan: ≤75% RH

5. Menyediakan Pemutus Arus 16A khusus untuk memastikan pengoperasian yang stabil.

6. Pastikan Ventilasi yang memadai di lingkungan pengoperasian dan lindungi instrumen dari paparan sinar matahari langsung untuk mempertahankan kinerja yang optimal.

7. Argon/Silinder Gas Helium dan regulator Tekanan harus disediakan Pengguna untuk Penggunaan yang Serba guna.