Lab Target Coater tiga kali akan lab dengan Tabel Target dan Getaran Magnetron Untuk Film Non-logam dan metalik

• Layanan purna jual: 12 bulan
• Garansi: 12 bulan
• Tipe: Lapisan Produksi Garis
• Pelapisan: Lapisan vakum
• Substrat: Baja
• Sertifikasi: CE
• Tidak. Model.: TN-MSH300S-DCDCRF
• Kondisi: Baru
• mode pendinginan: pendinginan air
• temperatur pemanasan: maks. 500 derajat
• putar kecepatan: 1-20rpm dapat disetel
• ukuran substrat: diameter 185mm
• ruang vakum: baja anti karat
• Magnetron Sputtering Target Head: 3 Magnetron Sputtering Heads
• ukuran tahap sampel: Maximum 4" Substrate Can Be Placed
• kecepatan rotasi: 1-20 Rpm (Adjustable)
• temperatur pemanasan tertinggi: 500 derajat
• akurasi kontrol temperatur: +/- 1.0 °c
• kontroler aliran gas: 2 Mass Flow Meters Installed Inside The Instrument
• pompa vakum: a Set of Molecular Pump System, Using One-Button O
• sistem pendinginan: 16l/mnt.
• Paket Transportasi: Fumigated Wooden Box
• Spesifikasi: 1090mm*900mm*1250mm
• Merek Dagang: TN
• Asal: Cina
• Kode HS: 8486209000
• Kapasitas Produksi: 200/Month

Deskripsi Produk

 Lab Target Coater tiga kali akan lab dengan Tabel Target dan Getaran Magnetron
Untuk Film Non-logam dan metalik

 

Pendahuluan singkat
Tiga instrumen magnetron spective merupakan sebuah alat lapisan kemitratlron yang berkiprah secara independen dikembangkan oleh perusahaan kita, yang memiliki karakteristik standardisasi, kosonisasi dan kustomisasi kosonisasi.

Peralatan ini dapat digunakan untuk menyiapkan film ferroelektrik satu lapis atau multi-lapis, film konduktif, film semikonduktor, film keramik, film dielektrik, film optik, film oksida, film keras, film polietrafluoroetilen, dll..

Catu daya DC dapat digunakan untuk penyiapan stiker logam, catu daya RF dapat digunakan untuk penyiapan film non-logam, dan tiga target dapat memenuhi kebutuhan multi-lapisan atau beberapa lapisan. Dibandingkan dengan alat yang serupa, alat lapisan tiga target magnetron meludah melesatkan tidak hanya digunakan secara luas, tetapi juga memiliki keunggulan volume kecil dan pengoperasian yang mudah. Alat ini merupakan peralatan ideal untuk menyiapkan material film di laboratorium.

 Parameter teknis

Tiga target alat berat lapisan magnetron meludah (Catu daya DC + catu daya RF)
Contoh tabel	Mode Spibar	Orientasi yang katakan ke atas, tahap sampel terletak di atas target terkibar; Tempat sampel pengaturan atas tengah, dengan satu rana
	Tempat sampel	φ150mm
	Akurasi kontrol	±1CELCIUS
	Kisaran pemanas	Suhu kamar 500 derajat celcius
	Kecepatan yang dapat disesuaikan	1-20rpm dapat disetel
	Jarak dasar target dapat disesuaikan	Jarak antara target dan substrat dapat disesuaikan secara elektrik
Magnetron pistol target	Bidang target	Target penampang melingkar
	Vakum yang berkibar	10Pa. 0,2Pa
	Diameter target	50 mm
	Ketebalan target	2 mm Catatan: Jika target adalah material magnetik (seperti Fe, Co, Ni), ketebalan tidak boleh lebih dari 1,5mm, dan pistol yang kuat menyebutkan nama,   akan memerlukan biaya tambahan.
	Tegangan isolasi	>2000V
	Kuantitas	2 inci*3;rana untuk setiap pistol
	Spesifikasi kabel	SL-16
	Target suhu kepala	<=65
Vakum  ruang	Perawatan dinding dalam	Penghalus Elektrolisa
	Ukuran ruang	φ325mm * 500mm
	Material ruang	304 baja anti karat
	Jendela pengamatan	Jendela kuarsa, diameter φ100mm dengan rana
	Metode buka	Bukaan atas, penyangga bantu silinder
Sistem kontrol gas	Kontrol aliran	pengukur aliran massa 1-arah: Oksigen: Rentang 0 100SCCM atau Gas argon: Kisaran 0 SCCM atau Nitrogen: Kisaran 0 SCCM (Catatan: Untuk mencapai lingkungan yang lebih bebas oksigen dan bebas oksigen yang lebih tinggi, vakum ruang harus dibersihkan dengan gas inert murni paling tidak 3 kali.)
	Jenis gas	Argon, nitrogen, oksigen, dan gas inert lainnya
	Tipe katup kontrol	Katup solenoid
	Status statis katup kontrol	Biasanya tertutup
	Mengukur linearitas	±1.5% F.S
	Pengulangan pengukuran	±0.2% F.S
	Mengukur waktu respons	≤8 detik(T95)
	Kisaran tekanan kerja	0,3MPa
	Tekanan bodi katup	3MPa
	Suhu pengoperasian	(5 S/D 45)
	Material tubuh	Baja anti karat 316L
	Laju kebocoran bodi katup	1 penukar ASCII-10 8Pa
	Sambungan pipa	1/4 fitting Kompresi dan
	Sinyal input dan output	0 V
	Catu daya	±15V(±5%)(+15V 50mA,    -15V 200mA)
	Dimensi keseluruhan (mm)	130 (lebar) x 102 (tinggi) x 28 (ketebalan)
	Antarmuka Komunikasi	Protokol RS485 MODBUS
Catu daya DC	Catu daya	500W
	Tegangan output	0 V.
	Arus output maksimal	1A
	Panjang timing	65000 S.
	Waktu mulai	1-10 S
	Kuantitas	2 diatur
Daya RF suplai	Catu daya	500W
	Rentang output daya	0W-500W, dengan pencocokan otomatis
	Daya maksimal yang dipantulkan	100W
	Frekuensi RF	13,56MHz+/-0.005% stabilitas
	Stabilitas Daya	≤5W
	Komponen harmonis	kurang dari -50dc
	Kuantitas	1 diatur

Foto detail

Profil Perusahaan

 

FAQ

T. Apakah Anda adalah pabrikan atau perusahaan dagang?

Kami adalah produsen alat laboratorium profesional, memiliki tim desain kami sendiri dan pabrik dengan pengalaman teknis yang matang, dan dapat menjamin kualitas produk dan harga optimal.

T. bagaimana sistem layanan purna jual produk perusahaan Anda?

A.  periode garansi produk adalah 12 bulan, kami dapat memberikan perawatan seumur hidup. Kami memiliki pra-penjualan profesional dan departemen purna-penjualan yang dapat merespons Anda dalam waktu 24 jam untuk mengatasi masalah teknis apa pun.

T. berapa lama waktu pengiriman Anda? Jika saya ingin menyesuaikan instrumen, berapa lama waktu yang diperlukan?

A.1. Jika barang-barang tersebut ada, berarti 5-10 hari. 2. Kami dapat menyediakan layanan yang disesuaikan untuk pelanggan kami. Biasanya berlangsung selama 30-60 hari tergantung pada spesifikasi instrumen yang disesuaikan.

T. pasokan daya dan steker negara kami berbeda. Bagaimana cara mengatasinya?

A. kita dapat menyediakan trafo dan steker sesuai kebutuhan setempat dan steker listrik di berbagai negara.

T. bagaimana cara membayar?

A.T / T, L / C, D / P, dll., disarankan untuk menggunakan Jaminan Perdagangan buatan-dalam-Cina.

T. bagaimana paket barang ini? Metode penyampaian?

A.1. Fumigasi ekspor standar menandai kemasan kotak kayu 2. Express, udara, kapal laut sesuai dengan kebutuhan pelanggan, dapat menemukan cara yang paling sesuai.

Terima kasih atas upaya Anda untuk membuat dunia lebih baik!
Ada pertanyaan tentang putaran kita, silakan hubungi kami