Target Tunggal Desktop Magnetron Sper dengan Tegangan bias

• After-sales Service: 12 Months
• Warranty: 12 Months
• Tipe: Lapisan Produksi Garis
• Pelapisan: Lapisan vakum
• Substrat: Baja
• Sertifikasi: CE
• Tidak. Model.: TN-MSZ180PX-I-DC-Q
• Kondisi: Baru
• mode pendinginan: pendinginan air
• temperatur pemanasan: maks. 500 derajat
• putar kecepatan: 1-20rpm dapat disetel
• ukuran substrat: diameter 185mm
• ruang vakum: baja anti karat
• Magnetron Sputtering Target Head: 1 Magnetron Sputtering Heads
• ukuran tahap sampel: 100-mm
• kecepatan rotasi: 1-20 Rpm (Adjustable)
• temperatur pemanasan tertinggi: 500 derajat
• akurasi kontrol temperatur: +/- 1.0 °c
• kapasitas ank: 9l
• pompa vakum: a Set of Molecular Pump System, Using One-Button O
• sistem pendinginan: 10l/mnt
• Paket Transportasi: Fumigated Wooden Box
• Spesifikasi: 550*350*400
• Merek Dagang: TN
• Asal: China
• Kode HS: 8486209000
• Kapasitas Produksi: 200/Month

Deskripsi Produk

  Magron target tunggal desktop dengan voltase bias

Deskripsi Produk

Peralatan ini merupakan sebuah instrumen magnetron Spline, yang dapat digunakan untuk menyiapkan film tipis logam umum.  Pada saat yang sama, peralatan dilengkapi dengan catu daya bias, yang dapat digunakan untuk pembersihan plasma sebelum terkTanggal dan menggunakan bias saat terkibar.  
Magron dengan target tunggal yang berkibar terkelong ini dilengkapi dengan rongga baja vakum yang tinggi dan rongga yang diatur dengan baffle jendela pengamatan, yang mudah untuk diamati dan direkam eksperimen; desain rongga dengan kinerja vakum yang sangat baik dan bentuk kecil membuatnya sangat sesuai untuk penggunaan laboratorium. Pada saat yang sama, peralatan dilengkapi dengan meja sampel pemanas berputar, yang dapat secara efektif meningkatkan keseragaman film dan kualitas film. Mesin mengadopsi desain modular, logika operasi sederhana, antarmuka operasi yang intuitif, mudah untuk memulai.

Parameter Produk

 

Nama Produk	Magron target tunggal desktop dengan voltase bias
Model Produk	TN-MSZ180PX-I-DC-Q ( tegangan bias)
Kondisi instalasi	1,Temperatur lingkungan kerja: 25±15,kelembapan: 55%RH±10%RH; 2,Catu daya peralatan:AC220V,50Hz, harus ditanahkan; 3,Daya tetapan:1000w; 4,Peralatan untuk gas:ruang peralatan harus diisi dengan gas argon untuk pembersihan. Pelanggan harus menyiapkan gas argon dengan kemurnian ≥99.99%. 5,kebutuhan ukuran Tabel: Penukar ASCII 600 mm pada penukar ASCII 600 mm, kapasitas bearing ≥ 50 kg; 6, posisi harus memiliki ventilasi dan didinginkan dengan baik.
Indikator Teknis	Catu daya berterbakar:Catu daya DC 300W;tegangan output maksimum 600V,arus terbatas Output 500mA Target magnetik:target keseimbangan 2 inci, baffle kopling magnetik; Catu daya bias: Tegangan output <1000V, tipe: Catu daya DC pulsa frekuensi tinggi   Target material yang sesuai: φ50mm x 3 mm dalam ketebalan Ukuran rongga :di luar Parameter yang,di dalam Parameter yang 186 mm x tinggi 230mm Bahan cavity: 304 stainless steel Meja sampel pemanasan berputar:putar kecepatan 1 20 rpm secara kontinu dapat disesuaikan;suhu pemanasan maksimal 500, kecepatan pemanasan paling rendah yang disarankan 10/mnt, laju pemanasan tertinggi yang disarankan 20/mnt Mode Pendinginan :sasaran magnetik dan pompa molekuler memerlukan air sirkulasi lebih dingin Mesin pendingin air:tangki volume 9L,laju aliran 10L/mnt Sistem pasokan gas:meter aliran massa, tipe argon gas, aliran 1 30sccm(dapat disesuaikan) Akurasi pengukur aliran:±1.5 % kisaran pengukuran Antarmuka pemompaan udara pada ruang vakum adalah KF25 Antarmuka pemasukan udara adalah sambungan ferrule ganda 1/4 inci Layar sentuh berukuran 7 inci Arus terkir yang dapat disetel,nilai arus keselamatan yang terkir dan nilai vakum keselamatan dapat disetel;  perlindungan keselamatan: over arus, vakum terlalu rendah otomatis memutuskan arus yang melahirkannya Vakum paling dahsyat:5E-4Pa(pompa molekuler cocok); Pengukuran vakum Parana vakum, kisarannya adalah: 1 Pa 10510518
Pemberitahuan	1,Magnetron sppompa mempunyai vakum yang bekerja tinggi, biasanya dalam 2 Pa, dan perlu digunakan dengan pompa molekuler.   2 untuk mencapai lingkungan bebas oksigen yang tinggi, ruang vakum harus dibersihkan setidaknya 3 kali dengan gas inert murni. 3,Magnetron meludah sensitif terhadap udara masuk, sehingga diperlukan meter aliran massa untuk mengontrol udara masuk
Aksesori Opsional
Monitor ketebalan film	1,Resolusi ketebalan film:0.0136Å(aluminium) 2,Akurasi ketebalan film:±0.5%,tergantung pada kondisi proses, terutama posisi sensor, tegangan bahan, temperatur, dan kerapatan   3,Kecepatan pengukuran:100ms-1s/Times,kisaran pengukuran dapat diatur: 500000Å(aluminium) 4,kristal sensor standar:6MHz 5,cocok untuk frekuensi wafer:6MHz Cocok untuk ukuran wafer:Φ14mm Flensa dudukan:CF35
Aksesori lain	Set pompa molekuler berkinerja tinggi 1,CY-CZK103 series(termasuk pengukur tekanan vakum komposit, kisaran pengukuran 10-5Pa)CY-GZK60 series pompa molekular kecil (termasuk pengukur tekanan vakum komposit, kisaran 10-5Pa 102Pa) Pompa vakum putar vane putar VRD-4 bipolar 2,KF25 bellow vakum; panjang dapat 0,5m, 1m atau 1,5m. Braket klem KF40 3,osilator kristal meter ketebalan film.

Foto detail

 

 

FAQ

T. Apakah Anda adalah pabrikan atau perusahaan dagang?

Kami adalah produsen alat laboratorium profesional, memiliki tim desain dan pabrik kami sendiri, memiliki pengalaman teknis yang matang, dan dapat menjamin kualitas produk dan harga optimal.

T. bagaimana sistem layanan purna jual produk perusahaan Anda?

A.  periode garansi produk adalah 12 bulan, kami dapat memberikan perawatan seumur hidup. Kami memiliki pra-penjualan profesional dan departemen purna-penjualan yang dapat merespons Anda dalam waktu 24 jam untuk mengatasi masalah teknis apa pun.

T. berapa lama waktu pengiriman Anda? Jika saya ingin menyesuaikan instrumen, berapa lama waktu yang diperlukan?

A.1. Jika barang-barang tersebut ada, berarti 5-10 hari. 2. Kami dapat menyediakan layanan yang disesuaikan untuk pelanggan kami. Biasanya berlangsung selama 30-60 hari tergantung pada spesifikasi instrumen yang disesuaikan.

T. pasokan daya dan steker negara kami berbeda. Bagaimana cara mengatasinya?

A. kita dapat menyediakan trafo dan steker sesuai kebutuhan setempat dan steker listrik di berbagai negara.

T. bagaimana cara membayar?

A.T / T, L / C, D / P, dsb., disarankan untuk menggunakan Alibaba Trade Guarantee.

T. bagaimana paket barang ini? Metode penyampaian?

A.1. Fumigasi ekspor standar menandai kemasan kotak kayu 2. Express, udara, kapal laut sesuai dengan kebutuhan pelanggan, dapat menemukan cara yang paling sesuai.

Pertanyaan lebih lanjut, silakan hubungi kami.

Terima kasih atas upaya Anda untuk membuat dunia lebih baik!
Ada pertanyaan tentang putaran kita, silakan hubungi kami.