After-sales Service: | on-Line Service |
---|---|
Warranty: | One Year |
Aplikasi: | Industri, Sekolah, Lab |
Disesuaikan: | Disesuaikan |
Sertifikasi: | CE |
Struktur: | Portabel |
Pemasok dengan izin usaha terverifikasi
Sistem lapisan PECCVD mesin dengan sistem gas yang disesuaikan
Spesifikasi sistem PEC65
Nomor model | TN-PEC7D-500T-SS | |
Ukuran rongga | Phi 500 - | |
Panjang zona hangat | 200 | |
Catu daya RF | 500W- | |
Suhu | 1000 DERAJAT CELCIUS | |
Pompa untuk mencegah hutan | Set pompa molekuler | |
Tipe tampilan | T | |
Zona hangat | SAYA | |
Pendingin air | CW5200 | |
Bahan cavity | SS | |
Sampel pemanasan Temperatur pemanasan |
Di atas RT- 1000±, akurasi kontrol suhu: 1.C, menggunakan meteran kontrol suhu untuk kontrol suhu; Kecepatan yang dapat disetel: 1-20rpm dapat disetel |
|
Semprot kepala berukuran | Φ90mm, jarak elektrode antara kepala semprot dan sampel online 40-100mm yang bisa disesuaikan secara kontinu (bisa disesuaikan menurut prosesnya), dan dengan tampilan indeks penggaris | |
Tabel Sampel | diameter 200 mm | |
Vakum yang bekerja untuk deposisi | 0.133-133Pa (dapat disesuaikan menurut proses) | |
Flensa atas | Sistem ini dapat dengan naik motor, dasar mudah diganti, dan ada pelabuhan penglihatan | |
Tabel Substrat | Gerakan linear dan azimut meja substrat, pemanasan substrat dan kontrol suhu, meja pemasangan dan kontrol layar sentuh, gerakan substrat linear dikontrol secara manual, dan rotasi substrat dikontrol oleh motor DC | |
Ruang vakum | Tipe lubang pintu depan, φ500mm X 500mm baja antikarat | |
Jendela pengamatan | φ100mm dengan baffle | |
Mass flowmeter | Pengukur aliran massa enam arah | |
Jumlah jalur gas | Enam jalur | |
Kisaran tekanan | 0.15 Mpa hingga 0.15 Mpa | |
Rentang | Oksigen 0 hingga 100 SCCM (oksigen) 0 hingga 100 SCCM (CF4) 0 hingga 200 SCCM (SF6) 200 hingga 0 SCCM (Argon) 500 hingga 0 SCCM (gas air lain) 0-500 SCCM (gas nitrogen lainnya) |
|
Kisaran kontrol aliran | Plus atau minus 1.5% | |
Material jalur gas | 304 baja anti karat | |
Sambungan pipa | sambungan bushing 35mm 6,6 | |
Sistem vakum | Pompa depan: Pompa vakum bebas oli 4,7L/S Pompa molekuler: 1200 L/S. |
|
Rentang pengukuran | 1 x 10-5 hingga 1 x 105Pa | |
Akurasi pengukuran | 40 x 10-5 - 1 x 10 Pa±1% 1 x 10-4 - 1 x Pa untuk dibaca dari ±20% |
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd. Adalah perusahaan yang terintegrasi dalam rancangan, riset dan pengembangan, produksi dan penjualan.
Produk utama perusahaan kami adalah: Spin-coater, penguapan termal , magron spater , plasma spterbesar, evater evaporasi tingkat E-beam, Mesin dengan lapisan laser pulsa PLD, pembersih plasma, sistem CVD, sistem PEVD, mesin pemotong kabel berlian, tungku peleburan/kompor, tungku peleburan busur, dll.
Produk kami banyak digunakan di bidang penelitian ilmu pengetahuan. Kami memiliki kerja sama yang erat dengan universitas-universitas domestik, laboratorium, dan perusahaan-perusahaan material baru. Negara dan kawasan telah berhasil diekspor ke lebih dari 20 negara dan kawasan termasuk Amerika Serikat, Inggris, Jerman, Rusia, Swiss, Kanada, Brazil, dan sebagainya . Serta telah membangun hubungan kerja sama jangka panjang dengan dealer setempat.
Jika Anda melakukan riset material, silakan hubungi kami dan kami akan memberikan layanan khusus untuk membuat percobaan penelitian Anda lebih lancar!
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd. Adalah perusahaan yang terintegrasi dalam rancangan, riset dan pengembangan, produksi dan penjualan.
Produk utama perusahaan kami adalah: Spin-coater, penguapan termal , magron spater , plasma spterbesar, evater evaporasi tingkat E-beam, Mesin dengan lapisan laser pulsa PLD, pembersih plasma, sistem CVD, sistem PEVD, mesin pemotong kabel berlian, tungku peleburan/kompor, tungku peleburan busur, dll.
Produk kami banyak digunakan di bidang penelitian ilmu pengetahuan. Kami memiliki kerja sama yang erat dengan universitas-universitas domestik, laboratorium, dan perusahaan-perusahaan material baru. Negara dan kawasan telah berhasil diekspor ke lebih dari 20 negara dan kawasan termasuk Amerika Serikat, Inggris, Jerman, Rusia, Swiss, Kanada, Brazil, dan sebagainya . Serta telah membangun hubungan kerja sama jangka panjang dengan dealer setempat.
Jika Anda melakukan riset material, silakan hubungi kami dan kami akan memberikan layanan khusus untuk membuat percobaan penelitian Anda lebih lancar!
Kami dapat mengirimkan alat berat CVD, mesin PECA, PEC9, yang dikirim melalui udara, darat, dan dengan kode-kode Express, juga dapat mengatur pengiriman sesuai dengan kebutuhan Anda.
T. Apakah Anda perusahaan produsen atau perusahaan dagang?
Kami adalah produsen alat laboratorium yang profesional, kami memiliki tim dan bengkel kerja R&D profesional, yang dapat menjanjikan layanan penjualan dan penjualan qulitas.
T. bagaimana garansi Anda?
A. Garansi kami adalah 12 bulan, dan memberikan perawatan seumur hidup. Kami menyediakan layanan online selama 24 jam.
T. berapa lama waktu pengiriman Anda? Jika saya ingin menyesuaikan instrumen, berapa lama waktu yang diperlukan?
A. 5-10 hari-----di toko. Produk kustom yang disuplai-- biasanya membutuhkan 30-60 hari tergantung pada kebutuhan Anda.
T. Catu daya dan colokkan?
A. Kami dapat menyediakan produk yang sesuai dengan standar tegangan dan steker setempat.
T. bagaimana cara membayar?
A. T T, L / C, D / P, DLL.
T. bagaimana paket barang ini? Metode penyampaian?
J. Pegangan ekspor standar menandatangani kemasan kayu di kotak atau sesuai kebutuhan.
HARUSKAH KAMI MENDISKUSIKAN PROYEK ANDA?
Silakan menghubungi Anda dan kami dapat berkolaborasi untuk mendapatkan jawaban dan solusi yang Anda butuhkan.
Bagaimana kami dapat membantu Anda mencapai sasaran? Hambatan teknis apa yang dapat membantu tim teknik kami mengatasi? Tekan tombol 'Masuk' untuk menghubungi kami, dengan senang hati kami akan mendengar penelitian Anda dan membantu Anda dengan cara apa pun yang kami bisa lakukan.
Pemasok dengan izin usaha terverifikasi