1200c Plasma Enhanced Chemical DePosition Vacuum Tube Furnace

• After-sales Service: 12 Months
• Warranty: 12 Months
• Aplikasi: Sekolah, Lab
• Disesuaikan: Disesuaikan
• Sertifikasi: CE
• Struktur: Desktop
• Tidak. Model.: PECVD tube furnace
• Material: Baja Antikarat
• Tipe: Tungku penampungan
• sistem suplai gas: gas flow flowmeter (meter aliran gas)
• daya output daya rf: 50 w
• metode pendinginan: pendinginan air
• pompa vakum: pompa vakum putar bipolar
• suhu pengoperasian: <=1200 c
• Mass Flowmeter: up to 5ways
• frekuensi rf: 13,56mhz
• vakum paling sempurna: 10-1pa
• rf: 13,56mhz+0.005%
• Paket Transportasi: Standard Export Fumigation Sign Wooden Box Package
• Merek Dagang: TN
• Asal: Henan China
• Kode HS: 8486209000
• Kapasitas Produksi: 5000/Month

Deskripsi Produk

1200C Plasma Enhanced Chemical DPosition VD Vakurnace VD

 

Deskripsi Produk

Alat berat yang dilengkapi plasma CVD terdiri dari generator plasma, tungku tabung tiga-pemanasan, tungku tabung satu-kali pemanas, catu daya RF, dan sistem vakum.
Untuk reaksi kimia yang dilakukan pada suhu rendah, aktivitas plasma digunakan untuk mendorong reaksi dan karenanya disebut dengan uap kimia yang lebih baik (PECD). Film PEVD berfungsi sebagai pengatur gas yang mengandung gas senyawa atom film dengan output RF 13.56 MHz, membentuk plasma dalam ruang vakum, menggunakan aktivitas kimia yang kuat di dalam plasma, meningkatkan kondisi reaksi, dan menggunakan aktivitas plasma untuk mendorong reaksi, kemudian, menyimpan film yang diinginkan pada substrat .

aplikasi:
Peralatan ini dapat digunakan di berbagai tempat pengujian seperti pembuatan grafene, persiapan sulfida, dan pengolahan material nanometer. Berbagai film seperti SiOx, SiNx, silikon amorphus, silikon mikrokristalin, nano-silikon, Sik, mirip berlian, dll. dapat disimpan di permukaan lembaran atau sampel serupa, dan jenis p dan film doped juga dapat disimpan. Lapisan film yang disetorkan ini memiliki keseragaman, pemadatan, adhesif, dan isolasi. Banyak digunakan di bidang pemotong, mold presisi tinggi, lapisan keras, dekorasi kelas atas, dll.

 

Parameter Produk

 

tungku tabung zona pemanasan	Contoh	CY-O1200-50IIT
	Bahan tabung	Quartz yang tinggi
	Diameter tabung	50mm
	Panjang tabung	2830mm
	Panjang ruang tungku	660 mm
	Panjang zona pemanasan	200mm+200mm+200mm
	Suhu pengoperasian	0 DERAJAT CELCIUS
	Akurasi kontrol temperatur	±1CELCIUS
	Mode kontrol suhu	kontrol suhu program 30 atau 50 segmen
	Mode tampilan	LCD
	Metode perapat	304 flensa vakum baja anti karat
	Antarmuka flensa	Konektor ferrule 1/4", sambungan KF16/25/40
	Vakum	4,4E-3Pa
	Catu daya	AC:220V 50/60Hz
Tungku tabung zona pemanasan tunggal	Contoh	CY-O1200-50IT
	Bahan tabung	Quartz yang tinggi
	Diameter tabung	50mm
	Panjang tabung	2830mm
	Panjang ruang tungku	440 mm
	Panjang zona pemanasan	400mm
	Zona suhu konstan	200 mm
	Suhu pengoperasian	0 DERAJAT CELCIUS
	Akurasi kontrol temperatur	±1CELCIUS
	Mode kontrol suhu	kontrol suhu program 30 atau 50 segmen
	Mode tampilan	LCD
	Metode perapat	304 flensa vakum baja anti karat
	Antarmuka flensa	Konektor ferrule 1/4", sambungan KF16/25/40
	Vakum	4,4E-3Pa
	Catu daya	AC:220V 50/60Hz
Sistem output RF	Rentang Daya	0 500W yang dapat disesuaikan
	Frekuensi kerja	13,56MHz+0.005%
	Mode kerja	Output kontinu
	Mode tampilan	LCD
	Mode impedansi yang cocok	Dapat cocok, sinar ini tertutup secara merata dengan tiga tabung tungku pemanas
	Stabilitas Daya	≤2W
	Kinerja normal yang memantulkan daya	≤3W
	Kekuatan pantulan yang diperkuat	≤70W
	Komponen harmonis	≤-50dBc
	Efisiensi alat berat	≥70%
	Faktor Daya	≥90%
	Tegangan suplai/frekuensi	AC satu fase (187V Frekuensi 153V) 50/60Hz
	Mode kontrol	Kontrol internal / komunikasi PLC analog / RS232 / 485
	Pengaturan perlindungan daya	Perlindungan arus berlebih DC, penguat daya pada proteksi suhu, perlindungan daya yang dipantulkan
	metode pendinginan	Pendinginan udara paksa
	Panjang cahaya	Dalam Ar, catu daya RF dan koil akan dipadukan menjadi cahaya dan cahaya dapat mengisi panjang tungku dalam tiga zona pemanasan.
Sistem suplai gas	Sistem berbunga massa empat saluran	Mass flowmeter
	Kisaran aliran	Jangkauan MFC1: 0   Rentang MFC2: 0 scm Rentang MFC3: 0   Rentang MFC4: 0 Sesuai dengan gas H2, CH4, N2, Ar,
	akurasi pengukuran	±1.5%F.S
	Kemampuan mengulang	±0.2%FS
	Presisi linear	±1%F.S.
	Waktu Respons	≤4s
	Tekanan kerja	-0,15Mpa 0,15Mpa
	kontrol aliran	Kontrol layar sentuh LCD, tampilan digital, gas setiap saluran berisi katup jarum untuk kontrol individual
	Antarmuka intake	Dapat dihubungkan ke 1/4NPS atau lubang karat luar berdiameter 6 mm tabung baja
	Antarmuka outlet	Dapat dihubungkan ke 1/4NPS atau lubang karat luar berdiameter 6 mm tabung baja
	Metode koneksi	Konektor ferrule ganda
	Suhu pengoperasian	5 DERAJAT CELCIUS
	Gas premix	Dilengkapi dengan perangkat pencampur gas
Sistem buang	Pompa mekanis	Pompa bilah putar
	Laju pemompaan	1,1L/S
	Antarmuka BUANG	KF16
	Pengukuran vakum	Pengukur resistan
	Vakum paling sempurna	1,0E-1Pa
	Catu daya	AC:220V 50/60Hz
	Antarmuka pemompaan	KF16
Kereta	Panjang rel	2.5m, 3m Sistem ini mampu mencapai penurunan satu panjang tungku pemanas untuk mencapai kenaikan suhu yang cepat dan turun.

 

 

Foto detail

Foto-foto terkait  dengan Tungku VD PEC65



tungku tabung

 

Profil Perusahaan

 

FAQ

T. Apakah Anda adalah pabrikan atau perusahaan dagang?

Kami adalah produsen alat laboratorium profesional, memiliki tim desain dan pabrik sendiri, memiliki pengalaman teknis yang matang, dan dapat menjamin kualitas produk dan harga optimal.

T. bagaimana sistem layanan purna jual produk perusahaan Anda?
A. periode garansi produk adalah 12 bulan, kami dapat memberikan perawatan seumur hidup. Kami memiliki pra-penjualan profesional dan departemen purna-penjualan yang dapat merespons Anda dalam waktu 24 jam untuk mengatasi masalah teknis apa pun.

T. berapa lama waktu pengiriman Anda? Jika saya ingin menyesuaikan instrumen, berapa lama waktu yang diperlukan?
A.1. Jika barang-barang tersebut ada, berarti 5-10 hari. 2. Kami dapat menyediakan layanan yang disesuaikan untuk pelanggan kami. Biasanya berlangsung selama 30-60 hari tergantung pada spesifikasi instrumen yang disesuaikan.

T. pasokan daya dan steker negara kami berbeda. Bagaimana cara mengatasinya?
A. kita dapat menyediakan trafo dan steker sesuai kebutuhan setempat dan steker listrik di berbagai negara.

T. bagaimana cara membayar?
A.T / T, L / C, D / P, dsb., disarankan untuk menggunakan Alibaba Trade Guarantee.

T. bagaimana paket barang ini? Metode penyampaian?
A.1. Fumigasi ekspor standar menandai kemasan kotak kayu 2. Express, udara, kapal laut sesuai dengan kebutuhan pelanggan, dapat menemukan cara yang paling sesuai.

Pertanyaan lain, silakan hubungi saya.