Pilihan dan letakkan alat berat dengan flip chip
DB100 adalah sistem penempatan rakitan mikro semi otomatis secara manual. Seluruh alat berat menggunakan platform gerakan marmer untuk memastikan bahwa seluruh akurasi gerakan mencapai tingkat sub-mikron. Perangkat ini dilengkapi dengan sistem pengukuran ketinggian laser, yang dapat memenuhi kebutuhan substrat rongga bagian dalam dan pengelasan eutektik. Modul opsional: Modul pemanasan nozzle, sistem umpan balik tekanan nozzle, modul pemberian UV dan Curing, modul gas pelindung nitrogen, modul substrat preheater, modul monitoring proses, modul penempatan chip.
Keakuratan penempatan sistem ini dapat mencapai 1 um sesuai konfigurasi yang berbeda, dan nozzle dapat diganti secara manual sesuai dengan ukuran chip yang berbeda. Merupakan perlengkapan yang diperlukan untuk bonding perangkat medis canggih (rakitan modul pencitraan inti), perangkat optik (rakitan batang LDpaladium laser, VCSEL, PD, LENSA, dll.), chip semikonduktor (perangkat MEMS, perangkat frekuensi radio, perangkat microwave, dan sirkuit hibrida). Dalam kondisi ini, cocok untuk R&D dan untuk kebutuhan akan peralatan penelitian, universitas dan lembaga penelitian lainnya, laboratorium perusahaan, dan kebutuhan akan kelompok kecil dan berbagai produksi. Alat berat ini memiliki kinerja yang akurat, stabil, dan kinerja yang tinggi. Pengoperasian sangat nyaman, terutama sesuai untuk perakitan chip presisi tinggi.
Contoh |
DB100 |
DB100S |
Ukuran chip maks |
≤20mm x 20mm(50*50mm opsional) |
Ukuran chip min |
tambah-penukar ascii (penukar ascii) 0.2 |
tambah-tambah penukar ascii ke tambah jumlah kamar (penukar ascii 0.1 |
Presisi pemasangan |
±3um 3δ |
±1um 3δ |
Mode pengumpanan |
kotak wafel 2 inci*2 |
kotak wafel 2 inci*2 |
Ukuran substrat |
tambah jumlah penukar ascii pada tambah bintik 150 mm |
110 ascii tambah-tambah |
Tekanan nozzle maksimum |
Maksimum 200N, 2N minimal |
Maksimum 200N, minimal 0,2N |
Sistem gerakan sumbu X Y Z. |
Screw roller + motor servo |
Screw roller + motor servo + penggaris untuk kisi |
Resolusi sumbu x. |
0,1um |
0,1um |
Resolusi sumbu Z. |
0,1um |
0,1um |
Sumbu R θ sudut sumbu |
Akurasi kontrol rotasi: 0.01 |
Akurasi kontrol rotasi: 0.01 |
Suplai udara |
Pompa diafragma industri |
Pompa diafragma industri |
Daya |
3KW (tidak termasuk tabel eutektik) |
3KW (tidak termasuk tabel eutektik) |
Catu daya |
220V,50Hz |
220V,50Hz |
Berat bersih |
150Kg |
160kg |
Dimensi |
800 * 750 * 630mm |
800 * 750 * 630mm |
Konfigurasi standar:
1. Sistem penempatan
2. Sistem kalibrasi visual (inspeksi sistematis dan kalibrasi presisi chip yang dipasang)
3. Sistem jarak laser
4. Sistem lem
5. Sistem penyelarasan visual presisi tinggi
6. Sistem kontrol gerakan servo
Aksesori opsional:
1. Modul pemanasan nozzle atas
2. Sistem umpan balik tekanan nozzle
3. Modul Curizing and UV curing (pemberian pada dispensi UV)
4. Modul gas perlindungan nitrogen
5. Substrat sebuah modul pemanasan awal
6. Platform Eutectik
7. Chip memasang modul