Pengolahan Plasma untuk Mafer menilai Wafer Glass Ceramic

• After-sales Service: Engineer at Site
• Warranty: 1 Year
• Application: Semiconductor(IGBT, Mems, etc ) Process Cleaning
• Cleaning Media: Dry Cleaning
• Automation: Semi-automatic
• Cleaning Precision: Ultra-Precision Industrial Cleaning
• Tidak. Model.: VPC42
• Control: PLC
• Principle: Physical Cleaning
• Certification: CE, RoHS
• Condition: New
• Customized: Customized
• Feature: Clean Thoroughly
• nilai ruang: 42L
• daya: 300w
• pemilihan hamba: 380VAC 20A
• suasana: Nitrogen
• Nitrogen: 0,5mpa
• sensor suhu: omega as
• pembersihan area tunggal: 350 *350mm
• ukuran: 85*170*96cm
• Paket Transportasi: Polywood Case
• Spesifikasi: 350 *350mm*5 layers
• Merek Dagang: Torch
• Asal: Beijing
• Kapasitas Produksi: 50sets/Month

Deskripsi Produk

Pengolahan Plasma IGBT untuk MEMS Wafer Glass strate keramik

I. Nama peralatan, jenis nomor, tanggal asal dan tanggal pengiriman
1.1 Nama peralatan: Menyedot debu mesin pembersihan plasma
1.2 Model No.: VPC42
1.3 Asal (Negara, produsen): Beijing Torch SMT Incorporated Perusahaan
1.4 Tanggal pengiriman: 4-8 minggu setelah kontrak berlaku
1.5 utamanya digunakan untuk proses perawatan permukaan plasma dalam bidang pada lapisan semikonduktor seperti silikon wafer, substrat kaca, substrat keramik, pelat pembawa IC, bingkai kabel tembaga, Papan daya sub-sisi ukuran besar, modul IGBT, sensor MEMS dengan perabot, perangkat microwave, filter, perangkat RF, dll.
II.  Parameter kinerja teknis utama:
2.1 volume ruang vakum: 42L
2.2 derajat vakum:
Derajat vakum maksimum dari penyedot debu VPC42 adalah Kurang dari 2 Pa (pompa kering mekanis 40L/menit)
2.3 Area pembersihan efektif:
Area pembersihan tunggal: 350 *350mm
15 lapisan: Interval 15mm: Frekuensi menengah 40KHZ 2KW (perlakuan permukaan)
5 lapisan: Interval 50mm, frekuensi radio 135.5HZ 300W (pemrosesan volume, dengan pendinginan air)
2.4 Tinggi ruang vakum:
 Tinggi ruang:  350mm (ukuran efektif)
2.5 suhu pembersihan:
Pembersihan suhu rendah (di bawah suhu ruangan).
2.6 Frekuensi pembersihan: 30-120s
2.7 Efek pembersihan: Nilai dyne bisa mencapai 70. Sudut jatuh air adalah 15 derajat, dan dapat dikontrol secara optimal dalam 10 derajat (bengkel dengan kebersihan udara di kelas 100 bebas debu dapat dibersihkan dalam waktu 4 jam)
2.8 Gas dapat digunakan:
Argon, nitrogen, oksigen, campuran nitrogen hidrogen, hidrogen dan Karbon, tethujan, dll.
2.9 Alat berat pembersih plasma VPC42 dilengkapi dengan sistem kontrol perangkat lunak:
Sistem kontrol perangkat lunak  mudah dioperasikan, memungkinkan peralatan kontrol terhubung, dan berbagai kurva proses pembersihan bisa diatur, dan kurva bisa diatur, diubah, disimpan, dan dipilih untuk digunakan sesuai dengan proses yang berbeda; perangkat lunak memiliki fungsi analisisnya sendiri, yang bisa menganalisis kurva proses. Sistem kontrol perangkat lunak akan secara otomatis merekam data proses pembersihan, kurva suhu, waktu dan data terkait alarm secara real-time untuk memastikan kemudahan pengelolaan proses pembersihan produk.


Informasi Perusahaan


Ruang pertunjukan