China TERY, mesin pembersih Plasma INLINE BARU untuk semikonduktor
Deskripsi Produk
VPC3i menyedot plasma mesin (Sebaris)
Mesin pembersih plasma vakum sebaris
Modle No.: VPC3i
Pabrikan : Beijing Torch SMT Incorporated Company
I. Nama peralatan, jenis nomor, tanggal asal dan tanggal pengiriman
1.1 Nama peralatan: Mesin pembersihan plasma vakum dalam baris
1.2 Model No.: VPC3i
1.3 Asal (Negara, produsen): Beijing Torch SMT Incorporated Perusahaan
1.4 Tanggal pengiriman: 4-8 minggu setelah kontrak berlaku
1.5 utamanya digunakan untuk proses perawatan permukaan plasma dalam bidang pada lapisan semikonduktor seperti silikon wafer, substrat kaca, substrat keramik, pelat pembawa IC, bingkai kabel tembaga, Papan daya sub-sisi ukuran besar, modul IGBT, sensor MEMS dengan perabot, perangkat microwave, filter, perangkat RF, dll.
II Parameter kinerja teknis utama:
2.1 volume ruang vakum: 3L
2.2 derajat vakum:
Derajat vakum maksimal dari penyedot debu VPC3i adalah Kurang dari 10 Pa (pompa kering mekanis 8L)
2.3 Area pembersihan efektif:
Satu area pembersihan: 350 * 100 * 85 mm
Frekuensi plasma: 13,56hz 300W RF (perawatan volume, dengan pendinginan air)
2.4 Tinggi ruang vakum:
Tinggi tungku: 100mm (ukuran efektif)
2.5 suhu pembersihan:
Pembersihan suhu rendah (di bawah suhu ruangan).
2.6 Frekuensi pembersihan: 30-120s
2.7 Efek pembersihan: Nilai dyne bisa mencapai 70. Sudut jatuh air adalah 15 derajat, dan dapat dikontrol secara optimal dalam diri Anda