Struktur Relau
|
Zona pemanasan tunggal
- Ruang isolasi Al2O3 kemurnian tinggi menjamin keseragaman suhu unggul.
- Kipas pendingin dipasang di bagian bawah tungku untuk memastikan ventilasi yang efisien.
- Susunan flensa geser terbuat dari baja tahan karat.
- Tabung kwarsa Ganda:Dia. Tabung luar dan ditangguhkan oleh tabung interior Dia 80 mm. Metalik foil (Graphene Growth Substrat) akan dibungkus pada permukaan tabung untuk reaksi CVD
- Panjang zona pemanasan: 440 mm
Panjang zona pemanasan konstan 120 1±400 C) @1100 derajat C
|
Zona pemanasan ganda
- Ruang isolasi Al2O3 sangat murni memastikan keseragaman suhu.
- Kipas pendingin dipasang di bagian bawah tungku untuk memastikan ventilasi yang efisien.
- Maks. Suhu: 1200 derajat C dan suhu terus-menerus: 1100 derajat C.
- Dua Zona pemanas dikontrol secara terpisah:
Rel geser dua arah untuk memastikan tungku berjalan dengan lancar.
- panjang 200 mm untuk setiap zona pemanasan, panjang pemanasan total 400 mm
- zona suhu konstan 250 mm jika dua zona memanas suhu sama
- 500oC perbedaan suhu maks jika berada di blok termal antara dua zona
|
| Daya |
Zona pemanasan tunggal
Daya: 208-240VAC, 50/60Hz, satu fase, 2.5KW ( 20A Breaker Wajib) |
Zona pemanasan ganda
Daya: 208-240VAC, 50/60Hz, fase tunggal, 4 KW (diperlukan Pemutus 50A)
kabel daya 10 kaki tanpa konektor (mintalah teknisi listrik berlisensi untuk melakukan plug) |
| Suhu Pemanasan |
- Maks. Suhu: 1100 derajat C
- Suhu Kontinu 1000 derajat C
|
| Tingkat Pemanasan & Pendinginan |
Kecepatan pemanasan dan pendinginan maks. Bergantung pada temperatur kerja. Klik tabel di bawah ini untuk melihat laju pemanas & pendinginan maks. Berbeda-beda pada kisaran suhu yang berbeda.
( Anda harus mengkalibrasi temperatur dan tingkat pendinginan pemanasan sebelum digunakan )
Plot pemanasan Plot pendinginan
|
| Tabung Quartz gabungan |
- Tabung kwarsa dengan kemurnian tinggi:
Dua pasang flensa vakum yang disegel dengan jaket pendinginan air dan katup jarum baja antikarat
- Di luar EQ tabung, - QZTube-101D-1400: OD:4"x ID: Panjang 3.8" X 55" (OD 100 x ID 96 x 1400 mm)
- Bagian dalam EQ-QZTube-80D-1800: OD:3.15: X ID x 2.95" x 70.8" Panjang (OD 80 x ID 75 x 1800 mm
|
Flensa vakum |
Menggunakan tabung ganda untuk pertumbuhan CVD pada logam foil (dibungkus dengan permukaan tabung interior):
- 1-1. Tampak di bawah, satu pasang flensa SS304 untuk menyegel tabung luar dan ruang antara tabung luar dan di dalam tabung (ruang ini dianggap sebagai ruang reaksi).
- Flensa sisi kiri: Fitting Barb dengan katup jarum sebagai saluran masuk gas, pengukur vakum digital dengan kisaran pengukuran 10 ada di -4 hingga 1000 torr, termasuk saluran masuk/keluar pendingin air
- Flensa sisi kanan: Katup sudut kanan dengan fitting flensa KF25, termasuk katup jarum pelepas vakum, saluran masuk/saluran keluar pendingin air
- 1-2. Biarkan kedua ujung tabung dalam terbuka untuk pendinginan gas.
-
Tekanan vakum paling utama: 10 ada -2 membalas (oleh pompa mekanis)
10 ada -5 menyiksa (dengan pompa molekular turbo) |
Kontroler Temperatur |
- Kontrol otomatis PID dengan 30 segmen yang dapat diprogram untuk kontrol kecepatan pemanasan, laju pendinginan, dan waktu diam secara presisi.
- Alarm suhu berlebih terintegrasi dan perlindungan memungkinkan pengoperasian tanpa ada petugas.
- Perlindungan suhu berlebih dan alarm memungkinkan pengoperasian tanpa penjawab.
- +/- akurasi suhu 1 derajat.
- Port Komunikasi RS485.
- Kontrol Temperatur canggih (Opsional)
- Kit perangkat lunak kontrol suhu MTS02-Y (untuk kontroler seri YD518P) + paket laptop 15" tersedia pada baris opsi. Anda dapat meningkatkan kontroler suhu ke Pengontrol suhu Euroterm 3504 yang sepenuhnya kompatibel dengan IKW. Paket ini termasuk programer Eurotherm 3504, kabel komunikasi (RS485 - USB) dan CD perangkat lunak. Klik gambar di bawah untuk melihat spesifikasi penuh kontroler suhu Euroterm 3504.
-
|
Meter Aliran Massal & Stasiun Pencampuran Gas
|
- 4 kontroler aliran massa presisi ( MFC) dengan tampilan digital dan kenop penyesuaian dipasang di kotak kiri bawah untuk mengontrol laju aliran gas:
- 4 Saluran gas (hubungi penjualan MTI jika perlu lebih)
- MFC 1: Rentang kontrol dari 0-100 SCCM
- MFC 2: Rentang kontrol dari 0-200 SCCM
- MFC 3: Rentang kontrol dari 0-200 SCCM
- MFC 4: Rentang kontrol dari 0-500 SCCM
- Akurasi laju aliran: ±1% FS
- Saluran masuk dan saluran keluar gas: Konektor pipa Swagelok 1/4"
- Satu tangki pencampur gas 80 ml dipasang di dalam alas
- Setiap saluran gas memiliki katup jarum baja antikarat untuk mudah dihidupkan/dimatikan
- Laju aliran dapat disesuaikan dari panel MFC
|
| Pompa Vakum Stasiun dan katup |
Opsional 1:
- Pompa vakum kering Penfeiffer, 10E-3 Torr dipasang di dalam kereta mobile tugas berat. Klik gambar di bawah ini untuk detail selengkapnya.
- Adaptor KFD25 dan pipa baja antikarat terhubung antara pompa dan flensa pipa dengan katup bola presisi.
- TorR 10E-2 dapat dicapai di dalam tabung pemrosesan
- Pengukur vakum digital (dibuat di AS) dipasang di flensa sisi kiri.
- (Opsional) untuk tingkat vakum yang lebih tinggi hingga 10 Amount, -5 silakan pesan di bawah pompa turbo mobile.
|
Opsional 2:
- Rotary Pompa Vane Vane Vakum tugas berat dengan Filter Buang & Saluran Masuk KF-D25 dipasang di dalam kereta mobile tugas berat. Klik gambar di bawah ini untuk detail selengkapnya.
- vakum bar 6.7x10-4 dapat dicapai di dalam tabung pemrosesan
- Pengukur vakum digital (dibuat di AS) dipasang di flensa sisi kiri. Klik gambar kedua di bawah ini untuk detail selengkapnya
- Untuk meningkatkan tekanan vakum hingga 10, -5 Amount, silakan pesan di bawah memakai turban mobile dengan biaya ekstra:
|
| Fungsi Pendinginan Air |
Pendinginan air pada flensa terutama untuk mendinginkan o-ring di dalam flensa untuk memastikan ruang dengan seal terbaik pada temperatur tinggi:
- Flensa pendinginan air memerlukan flensa > aliran air 10L/M.
- Anda dapat menggunakan air keran sebagai cairan pendingin, namun kami sangat menyarankan agar Anda menggunakan peronghiller air resirkulasi untuk pertimbangan lingkungan. Silakan klik ibu jari di bawah untuk memesan pendingin air dengan biaya tambahan.
|
| Suku Cadang Opsional (membangun tungku tabung tunggal) |
Anda dapat membentuk ruang reaksi tabung tunggal dengan memesan flensa perapat tambahan dan memasangnya ke pipa interior:
- Flensa sisi kiri: Fitting Barb dengan katup jarum sebagai saluran masuk gas dan penggemukan gas 1/4' melalui fitting untuk pelanggan yang memasukkan sensor pengukuran
- Flensa sisi kanan: Fitting KF25 dengan pengukur mekanis dan katup pelepas vakum
|
| Dimensi |
- Tungku: 550 x 380 x 520mm
- Case mobile bawah x 2: 600 x 600 x 600mm (satu untuk stasiun pencampur gas dan lainnya untuk pompa vakum)
|
| Pengiriman |
- Bobot Pengiriman: 800 lb
- Pengiriman dengan muatan beserta tiga palet
- Biaya Cratingnya akan diberlakukan
|
| Garansi |
Garansi terbatas produsen satu tahun (komponen habis pakai seperti tabung pemrosesan, O-ring, dan elemen pemanas tidak dilindungi oleh garansi, harap pesan penggantian pada produk terkait di bawah ini). |
| Laptop, Perangkat Lunak, & Kontrol WiFi (Opsional) |
- Laptop baru dengan Microsoft Window 10 dan Microsoft Office 2013 (percobaan gratis 30 hari) untuk segera digunakan.
- Dengan Labview berbasis Temperature Control System (Sistem Kontrol suhu berbasis Labview) pengguna dapat mengedit profil suhu, mengelola resep perlakuan panas, mencatat dan membuat plot data untuk furnace MTI.
- Remote control nirkabel memberikan jangkauan pengoperasian hingga 300 meter.
- Fitur di atas tersedia atas permintaan dengan biaya tambahan (hingga $1,000). Hubungi kami untuk informasi lebih lanjut.
- Catatan:
Perangkat lunak ini hanya kompatibel dengan Pengontrol suhu YuI's Yudian
|
| Kepatuhan |
- Bersertifikat CE
- Semua komponen listrik ( >24V) Bersertifikat UL/TERPENUHI/CSA
- Tungku ini siap lulus sertifikasi TUV(UL61010) atau CSA dengan biaya tambahan.
|
Catatan Aplikasi
|
- Tabung tanur dengan tabung kwarsa dirancang dengan menggunakan apa pun tekanan vakum dan tekanan rendah < 0.2 bar / 3 psi / 0.02 Mpa
- Perhatian: Regulator tekanan dua tahap harus dipasang pada silinder gas untuk membatasi tekanan hingga kurang dari 3 PSI untuk pengoperasian yang aman.
- Laju aliran untuk gas harus dibatasi hingga < 200 SCCM (atau 200 ml/mnt) untuk mengurangi guncangan termal pada pipa
- Definisi batas vakum untuk semua furnace tabung kwarsa: * Tekanan vakum hanya dapat digunakan dengan aman hingga 1000 derajat C.
- Klik di sini untuk mempelajari cara menyetel tabung kwarsa/keramik dan flensa vakum untuk tungku Tabung MTI.
- Satu klem penghentian geser disertakan untuk menahan posisi tungku.
- Setelah CVD, grafene harus ditransfer dari katalis logam ke substrat lain untuk kebanyakan aplikasi. Dengan menggunakan pita grafene transfer, residu dapat rendah.
-
|
| Peringatan |
- Pendinginan sampel cepat dapat dicapai dengan menggeser ruang pemanas. Kenakan alat pelindung seperti sarung tahan panas & sarung tangan jika Anda ingin melakukannya.
- JANGAN MENYENTUH PERMUKAAN TABUNG SAAT MASIH PANAS!
|
Pemasok yang Diaudit 
