Merek TMMAXCN Z1100c Compact RTP Furnace dengan Quartz Tube & Pengukur Vakum Digital

• Application: Industry, School, Hospital, Lab
• Customized: Customized
• Certification: CE, ISO
• Structure: Tubular
• Material: Stainless Steel
• Type: Tubular Furnace
• Tidak. Model.: TMAX-1200X-RTP-4
• Paket Transportasi: Wood Packing
• Merek Dagang: TMAX
• Asal: China

Deskripsi Produk

Compact RTP 1100C dengan Quartz Tube & Digital Vakum Meteran

TMAX-1200X-RTP-4 adalah tungku tabung pemrosesan termal cepat ringkas berukuran 4" dengan tabung pemrosesan ID" dan flensa vakum.  Didesain untuk wafer semikonduktor dan sel surya dengan diameter hingga 3". TMAX-1200X-4-RTP dipanaskan sebesar 8 unit cahaya halogen dengan kecepatan pemanasan maks. 50/detik. 30 segmen kontroler temperatur presisi dengan akurasi +/-1 dibangun dalam tungku untuk memungkinkan pemanasan, pengoperasian, dan pendinginan di berbagai langkah. Port RS485 dan perangkat lunak kontrol disertakan untuk memantau profil suhu melalui PC, sekaligus memungkinkan tungku berlari secara bersamaan. Tungku ini juga dapat diubah menjadi  tungku RTE, CSS, atau HPCVD (lihat catatan bawah aplikasi )
 
SPESIFIKASI

Struktur Relau	Casing baja lapisan ganda dengan pendingin udara menjaga temperatur permukaan tungku lebih rendah dari 60 o C.    Isolasi serat fiem murni dengan kemurnian tinggi untuk penghematan energi yang maksimal. Belah penutup dengan perlindungan Interlock, putuskan daya jika tutup terbuka selama proses pemanasan tungku.
Input Daya	208-240 AC, 50/60 Hz satu fase, 9 KW Maks.  (Perlu pemutus 60A)
Elemen pemanas	8 buah 1Kw Tabung lampu Halogen , ( Dia. =10mm, L=300mm, Panjang Berpemanas =200mm) Masa pakai standar: 2000 jam.  ( tergantung pada tingkat pemanasan )   Tabung lampu halogen adalah bahan yang dapat habis pakai.  Klik gambar kiri untuk memesan yang satu
Zona pemanas	Panjang 12" dengan zona suhu konstan 4" dalam keseragaman +/-5
Suhu Kerja	110010 Maks. selama < menit 100020 Maks. selama < menit (Catatan: Jika dijalankan dalam waktu lebih lama, casing tungku akan > 100oC, harus menggunakan kotak pendingin kipas dari luar ) 800 120 Maks. selama < menit 600 Maks. untuk Berkelanjutan
Maks. Laju Pemanasan	50/dtk
Laju Pendinginan	Maks. Pendingin: 60 200/mnt (di bawah tekanan vakum: Mnt), 11/mnt (di bawah tekanan atmosfer)   Pendinginan terendah: 10  /menit
TERMOKOPEL	Tipe K, kepala thermocouple menyentuh tempat sampel Nitrit Aluminium Nitrit dari bawah
Kontroler Temperatur	kontroler temperatur disertakan. Kontrol turunannya-terpadu (kontrol PID) dan fungsi penalaan otomatis 30 segmen diprogram dengan ramping, pendinginan dan pijakan Alarm suhu berlebih dan alarm kegagalan thermocouple terintegrasi +/- keakuratan kontrol suhu 1 derajat Port komunikasi PC default DB9 Bersertifikat MET
Kontroler temperatur (opsional)	Kit perangkat lunak kontrol suhu MTS02-Y (untuk kontroler seri YD518P) + paket laptop 15"   tersedia pada  baris opsi. Anda dapat meningkatkan kontroler suhu ke Pengontrol suhu Euroterm 3504 yang sepenuhnya kompatibel dengan IKW.  Paket ini termasuk programer Eurotherm 3504, kabel komunikasi (RS485 - USB) dan CD perangkat lunak. Klik gambar di bawah untuk melihat spesifikasi penuh kontroler suhu Euroterm 3504.
Tabung Quartz & penahan Sampel	Ukuran Tabung quart: Panjang 4.33" O.D x 4.05" x 16.2".  Termasuk satu sampel holder diameter 3" untuk sampel annealing hingga 3" Dia juga disertakan. AlN memiliki konduktivitas termal sangat tinggi, yang menghasilkan keseragaman suhu terbaik di area sampel. Opsional:  Substrat tebal 3' dapat digunakan sebagai alternatif untuk plate. (klik gambar-3 di bawah untuk memesan) Opsional: Grafit tidak dapat dikalahkan:87 mm OD x 71 mm ID x Tinggi 12 mm dengan penutup dirancang untuk penahan sampel 3", juga dapat  dimodifikasi menjadi  tungku RTE, CSS, atau HPCVD dengan grafit yang dilapisi dengan sik. Tempat sampel dilepas dari flensa untuk menggunakan tungku RTP untuk tujuan lain.
Flensa Vakum	Flensa Vakum Tinggi KF-D25 terbuat dari baja antikarat dengan temperatur tinggi ganda. Cincin O-ring silikon, katup jarum, dan mantel pendingin air. Hanya memerlukan pendinginan air dalam waktu lama pada suhu > 600oC. Laju air sirkulasi: 0.5 m3 /jam Flensa geser-keluar memudahkan pemuatan, pembongkaran sampel, dan proses khusus lain yang diperlukan. Pasangan termal yang dapat disisipkan untuk pengukuran yang akurat.
Pompa Vakum (opsional)	Pompa vakum EQ-FYP direkomendasikan untuk tungku ini. Tekanan vakum yang terakhir di sistem ini bisa 10 Amount sebanyak -3 kali. Bellow vakum dan klem disertakan dalam paket ini. Klik di sini untuk spesifikasi pompa vakum EQ-FYP.
Pendinginan Air (opsional)	Air pendingin diperlukan. Pastikan laju aliran air pendingin sebesar ≥ 10 L/mnt, suhu air. < 25 25; tekanan > PSI. Sebaiknya gunakan pendingin resirkulasi Seri EQ- sebagai sistem pendinginan (harap pesan terpisah pada produk terkait di bawah) untuk menghemat air.    Peringatan: Waktu tinggal maksimal di tungku RTP ini harus kurang dari 600 detik pada 1.000 W di 1.000.
Flow-meter	Satu meter aliran dipasang di panel depan untuk menyesuaikan aliran gas dari 16 - 160 ml/mnt
Pengukur Vakum	Pengukur vakum digital dengan kisaran pengukuran dari  Torr 10-4 hingga 1000 dipasang di tungku.
Tekanan Vakum & fitting Gas	Tekanan dapat mencapai 50 penytorr dengan menggunakan pompa vakum mekanis Dengan adaptor KF25 Tekanan dapat mencapai 10-4 torr oleh pompa molekuler dengan KF25 adapter
Dimensi	Flensa Tertutup: 760mm(L) X 330mm(W) X 530mm(H) /Flensa terbuka: 1200mm(L) X 330mm(W) X 530mm(H)
Berat bersih	70 kg (150 lbs)
Garansi	Garansi terbatas selama satu tahun untuk produsen dengan dukungan seumur hidup (komponen habis pakai seperti tabung pemrosesan, o-ring, dan lampu halogen tidak dilindungi oleh garansi, harap pesan penggantian pada produk yang terkait di bawah ini).
Kontrol laptop, Perangkat Lunak, & WiFi(Opsional)	Laptop baru dengan Microsoft Window 10 dan Microsoft Office 2013 (percobaan gratis 30 hari) untuk segera digunakan. Labview Based Temperature Control System (Sistem Kontrol suhu berbasis Labview) memungkinkan  pengguna mengedit profil suhu, mengelola resep perlakuan panas, mencatat dan membuat plot data untuk furnace MTI. Remote control nirkabel memberikan jangkauan pengoperasian hingga 300 meter. Fitur di atas tersedia atas permintaan dengan biaya tambahan (hingga $1,000). Hubungi kami untuk informasi lebih lanjut. Catatan:   Perangkat lunak ini hanya kompatibel dengan Pengontrol suhu YuI's Yudian
Kepatuhan	Harap pilih sertifikat di bilah opsi: Sertifikat CE & UL/CSA siap: Persetujuan CE, siap melewati sertifikat UL/CSA   UL Certicaate - UL menggunakan hukum (UL 61010), dengan biaya tambahan
Opsional	Anda dapat menggabungkan tungku RTP dengan sistem vakum tinggi atau liom gas seperti tungku vakum atau sistem CVD. Klik gambar di bawah ini untuk melihat detailnya Untuk mencapai tingkat pendinginan cepat (< 10/detik), Anda dapat memilih tungku RTP dengan rel geser. Klik gambar di bawah ini untuk melihat detailnya. Anda dapat memesan modul kontrol tekanan.
Catatan Aplikasi	Tungku tabung dengan tabung kwarsa dirancang untuk digunakan dengan tekanan vakum dan rendah < 0.2 bar / 3 psi / 0.02 MPa.  Tekanan vakum hanya dapat digunakan dengan aman hingga 1000 200 kecepatan aliran gas harus dibatasi hingga< SCCM (atau 200ml/mnt) untuk mengurangi kejutan panas ke tabung Perhatian: Regulator tekanan dua tahap harus dipasang pada silinder gas untuk membatasi tekanan hingga kurang dari 3 PSI untuk pengoperasian yang aman.  Tungku ini juga dapat diubah menjadi  tungku RTE, CSS, atau HPCVD yang akan dilapisi grafit dengan sic (klik PIC-left untuk informasi lebih lanjut mengenai cara menyiapkan pemrosesan RTE oleh DIY ) Setelah CVD, grafene harus ditransfer dari katalis logam ke substrat lain untuk kebanyakan aplikasi.  Dengan menggunakan pita grafene transfer, residu dapat rendah.

TMAX-1200X-4-C4-SL-UL  adalah   sistem dual tabung CVD yang dirancang untuk lapisan film tipis pada logam foil, terutama untuk mempersiapkan elektrode fleksibel pada foil logam (foil) pada penelitian energi generasi baru. Pemanasan dan pendinginan yang cepat dapat dicapai dengan menggeser tungku. Lihat bagian Petunjuk Pengoperasian untuk melihat pengoperasian tungku:

• Tabung kwarsa ganda:Dia. Tabung luar dan ditangguhkan oleh tabung interior berukuran 80 mm.  Metalik foil (Graphene Growth Substrat) akan dibungkus pada permukaan tabung untuk reaksi CVD.  
• Flensa dengan seal vakum untuk tabung ganda, yang memungkinkan gas reaktif mengalir antara dua tabung ( 10mm Space ) dan aliran gas inert di dalam pipa untuk pendinginan.
• 4 saluran gas yang dikontrol oleh 4 MFC digital terpisah
• Pompa vakum disertakan bersama adaptor dan pipa KF25 sambungkan dan putar
• Rel geser dipasang di bagian bawah tungku tunggal, yang memungkinkan pemanasan atau pendinginan cepat dengan tungku geser dari satu sisi ke sisi lain.
• Satu klem penghentian geser disertakan untuk menahan posisi tungku.

Baik zona pemanasan maupun sistem vakum dapat dipilih: Zona pemanasan tunggal atau ganda; Pompa VBS-M1 atau dua Pompa VBS-ACP15.

SPESIFIKASI:
 

Struktur Relau	Zona pemanasan tunggal Ruang isolasi Al2O3 kemurnian tinggi menjamin keseragaman suhu unggul. Kipas pendingin dipasang di bagian bawah tungku untuk memastikan ventilasi yang efisien. Susunan flensa geser terbuat dari baja tahan karat. Tabung kwarsa Ganda:Dia. Tabung luar dan ditangguhkan oleh tabung interior Dia 80 mm.  Metalik foil (Graphene Growth Substrat) akan dibungkus pada permukaan tabung untuk reaksi CVD Panjang zona pemanasan: 440 mm Panjang zona pemanasan konstan 120 1±400 C) @1100 derajat C	Zona pemanasan ganda   Ruang isolasi Al2O3 sangat murni memastikan keseragaman suhu. Kipas pendingin dipasang di bagian bawah tungku untuk memastikan ventilasi yang efisien. Maks. Suhu: 1200 derajat C dan suhu terus-menerus: 1100 derajat C. Dua Zona pemanas dikontrol secara terpisah: Rel geser dua arah untuk memastikan tungku berjalan dengan lancar. panjang 200 mm untuk setiap zona pemanasan, panjang pemanasan total 400 mm zona suhu konstan 250 mm jika dua zona memanas suhu sama 500oC perbedaan suhu maks jika berada di blok termal antara dua zona
Daya	Zona pemanasan tunggal Daya: 208-240VAC, 50/60Hz, satu fase, 2.5KW ( 20A Breaker Wajib)	Zona pemanasan ganda Daya: 208-240VAC, 50/60Hz, fase tunggal, 4 KW (diperlukan Pemutus 50A)   kabel daya 10 kaki tanpa konektor  (mintalah teknisi listrik berlisensi untuk melakukan plug)
Suhu Pemanasan	Maks. Suhu: 1100 derajat C Suhu Kontinu 1000 derajat C
Tingkat Pemanasan & Pendinginan	Kecepatan pemanasan dan pendinginan maks. Bergantung pada temperatur kerja.  Klik tabel di bawah ini untuk melihat laju pemanas & pendinginan maks. Berbeda-beda pada kisaran suhu yang berbeda. ( Anda harus mengkalibrasi temperatur dan tingkat pendinginan pemanasan sebelum digunakan )             Plot pemanasan         Plot pendinginan
Tabung Quartz gabungan	Tabung kwarsa dengan kemurnian tinggi: Dua pasang flensa vakum yang disegel dengan jaket pendinginan air dan katup jarum baja antikarat  Di luar EQ tabung, - QZTube-101D-1400: OD:4"x ID: Panjang 3.8" X 55" (OD 100 x ID 96 x 1400 mm)  Bagian dalam EQ-QZTube-80D-1800: OD:3.15: X ID x 2.95" x 70.8" Panjang (OD 80 x ID 75 x 1800 mm
Flensa vakum	Menggunakan tabung ganda untuk pertumbuhan CVD pada logam foil (dibungkus dengan permukaan tabung interior):   1-1. Tampak di bawah, satu pasang flensa SS304 untuk menyegel tabung luar dan ruang antara tabung luar dan di dalam tabung (ruang ini dianggap sebagai ruang reaksi). Flensa sisi kiri: Fitting Barb dengan katup jarum sebagai saluran masuk gas, pengukur vakum digital dengan kisaran pengukuran 10 ada di -4 hingga 1000 torr, termasuk saluran masuk/keluar pendingin air Flensa sisi kanan: Katup sudut kanan dengan fitting flensa KF25, termasuk katup jarum pelepas vakum, saluran masuk/saluran keluar pendingin air   1-2. Biarkan kedua ujung tabung dalam terbuka untuk pendinginan gas.     Tekanan vakum paling utama:  10 ada -2 membalas (oleh pompa mekanis)                                          10 ada -5 menyiksa (dengan pompa molekular turbo)
Kontroler Temperatur	Kontrol otomatis PID dengan 30 segmen yang dapat diprogram untuk kontrol kecepatan pemanasan, laju pendinginan, dan waktu diam secara presisi. Alarm suhu berlebih terintegrasi dan perlindungan memungkinkan pengoperasian tanpa ada petugas.  Perlindungan suhu berlebih dan alarm memungkinkan pengoperasian tanpa penjawab. +/- akurasi suhu 1 derajat. Port Komunikasi RS485. Kontrol Temperatur canggih  (Opsional)  Kit perangkat lunak kontrol suhu MTS02-Y (untuk kontroler seri YD518P) + paket laptop 15" tersedia pada baris opsi.  Anda dapat meningkatkan kontroler suhu ke Pengontrol suhu Euroterm 3504 yang sepenuhnya kompatibel dengan IKW.  Paket ini termasuk programer Eurotherm 3504, kabel komunikasi (RS485 - USB) dan CD perangkat lunak. Klik gambar di bawah untuk melihat spesifikasi penuh kontroler suhu Euroterm 3504.
Meter Aliran Massal & Stasiun Pencampuran Gas	4 kontroler aliran massa presisi ( MFC) dengan tampilan digital dan kenop penyesuaian dipasang di kotak kiri bawah untuk mengontrol laju aliran gas: 4 Saluran gas (hubungi penjualan MTI jika perlu lebih) MFC 1: Rentang kontrol dari 0-100 SCCM MFC 2: Rentang kontrol dari 0-200 SCCM MFC 3: Rentang kontrol dari 0-200 SCCM MFC 4: Rentang kontrol dari 0-500 SCCM Akurasi laju aliran: ±1% FS Saluran masuk dan saluran keluar gas: Konektor pipa Swagelok 1/4" Satu tangki pencampur gas 80 ml dipasang di dalam alas Setiap saluran gas memiliki katup jarum baja antikarat untuk mudah dihidupkan/dimatikan   Laju aliran dapat disesuaikan dari panel MFC
Pompa Vakum Stasiun dan katup	Opsional 1: Pompa vakum kering Penfeiffer, 10E-3 Torr dipasang di dalam kereta mobile tugas berat. Klik gambar di bawah ini untuk detail selengkapnya. Adaptor KFD25 dan pipa baja antikarat terhubung antara pompa dan flensa pipa dengan katup bola presisi. TorR 10E-2 dapat dicapai di dalam tabung pemrosesan Pengukur vakum digital (dibuat di AS) dipasang di flensa sisi kiri.   (Opsional) untuk tingkat vakum yang lebih tinggi hingga 10 Amount, -5 silakan pesan di bawah pompa turbo mobile.	Opsional 2:     Rotary Pompa Vane Vane Vakum tugas berat dengan Filter Buang & Saluran Masuk KF-D25 dipasang di dalam kereta mobile tugas berat. Klik gambar di bawah ini untuk detail selengkapnya. vakum bar 6.7x10-4 dapat dicapai di dalam tabung pemrosesan Pengukur vakum digital (dibuat di AS) dipasang di flensa sisi kiri. Klik gambar kedua di bawah ini untuk detail selengkapnya Untuk meningkatkan tekanan vakum hingga 10, -5 Amount, silakan pesan di bawah memakai turban mobile  dengan biaya ekstra:
Fungsi Pendinginan Air	Pendinginan air pada flensa terutama untuk mendinginkan o-ring di dalam flensa untuk memastikan ruang dengan seal terbaik pada temperatur tinggi:   Flensa pendinginan air memerlukan flensa > aliran air 10L/M. Anda dapat menggunakan air keran sebagai cairan pendingin, namun kami sangat menyarankan agar Anda menggunakan peronghiller air resirkulasi untuk pertimbangan lingkungan. Silakan klik ibu jari di bawah untuk memesan pendingin air dengan biaya tambahan.
Suku Cadang Opsional (membangun tungku tabung tunggal)	Anda dapat membentuk ruang reaksi tabung tunggal dengan memesan flensa perapat tambahan dan memasangnya ke pipa interior:   Flensa sisi kiri: Fitting Barb dengan katup jarum sebagai saluran masuk gas dan penggemukan gas 1/4' melalui fitting untuk pelanggan yang memasukkan sensor pengukuran Flensa sisi kanan: Fitting KF25 dengan pengukur mekanis dan katup pelepas vakum
Dimensi	Tungku: 550 x 380 x 520mm Case mobile bawah x 2: 600 x 600 x 600mm (satu untuk stasiun pencampur gas dan lainnya untuk pompa vakum)
Pengiriman	Bobot Pengiriman: 800 lb Pengiriman dengan muatan beserta tiga palet Biaya Cratingnya akan diberlakukan
Garansi	Garansi terbatas produsen satu tahun (komponen habis pakai seperti tabung pemrosesan, O-ring, dan elemen pemanas tidak dilindungi oleh garansi, harap pesan penggantian pada produk terkait di bawah ini).
Laptop, Perangkat Lunak, & Kontrol WiFi (Opsional)	Laptop baru dengan Microsoft Window 10 dan Microsoft Office 2013 (percobaan gratis 30 hari) untuk segera digunakan. Dengan Labview berbasis Temperature Control System (Sistem Kontrol suhu berbasis Labview)  pengguna dapat mengedit profil suhu, mengelola resep perlakuan panas, mencatat dan membuat plot data untuk furnace MTI. Remote control nirkabel memberikan jangkauan pengoperasian hingga 300 meter. Fitur di atas tersedia atas permintaan dengan biaya tambahan (hingga $1,000). Hubungi kami untuk informasi lebih lanjut. Catatan:   Perangkat lunak ini hanya kompatibel dengan Pengontrol suhu YuI's Yudian
Kepatuhan	Bersertifikat CE Semua komponen listrik ( >24V)  Bersertifikat UL/TERPENUHI/CSA Tungku ini siap lulus sertifikasi TUV(UL61010) atau CSA dengan biaya tambahan.
Catatan Aplikasi	Tabung tanur dengan tabung kwarsa dirancang dengan menggunakan apa pun tekanan vakum dan tekanan rendah < 0.2 bar / 3 psi / 0.02 Mpa Perhatian: Regulator tekanan dua tahap harus dipasang pada silinder gas untuk membatasi tekanan hingga kurang dari 3 PSI untuk pengoperasian yang aman. Laju aliran untuk gas harus dibatasi hingga < 200 SCCM (atau 200 ml/mnt)  untuk mengurangi guncangan termal pada pipa Definisi batas vakum untuk semua furnace tabung kwarsa: * Tekanan vakum hanya dapat digunakan dengan aman hingga 1000 derajat C. Klik di sini untuk mempelajari cara menyetel tabung kwarsa/keramik dan flensa vakum untuk tungku Tabung MTI. Satu klem penghentian geser disertakan untuk menahan posisi tungku.   Setelah CVD, grafene harus ditransfer dari katalis logam ke substrat lain untuk kebanyakan aplikasi.  Dengan menggunakan pita grafene transfer, residu dapat rendah.
Peringatan	Pendinginan sampel cepat dapat dicapai dengan menggeser ruang pemanas. Kenakan alat pelindung seperti sarung tahan panas & sarung tangan jika Anda ingin melakukannya.   JANGAN MENYENTUH PERMUKAAN TABUNG SAAT MASIH PANAS!

 

---