Sistem Sputtering Magnetron Meja Kerja

• Kustomisasi: Tersedia
• Layanan purna jual: layanan online
• Garansi: satu tahun
• Tidak. Model.: Made-to-order
• Tipe: Lapisan Produksi Garis
• Pelapisan: Lapisan vakum
• Substrat: Baja
• Sertifikasi: CE
• Kondisi: Baru
• tahap sampel: dia (dia). 100-mm
• temperatur pemanasan: maks. 500 derajat
• putar kecepatan: 1-30rpm Adjustable
• material ruang: quartz yang tinggi
• Paket Transportasi: kotak kayu
• Spesifikasi: disesuaikan
• Merek Dagang: rj
• Asal: Zhengzhou, China

Deskripsi Produk

Sistem Tinggi Magnetron SpWLAN Desktop
(Sistem Co-Spribar untuk Film tipis Tingkat Lanjut DePosition)

 

Spesifikasi tombol

Komponen	Parameter
Tahap Sampel	- Diameter: 100 mm - pemanas: ≤500±C (1 C) - Rotasi: 1-20 rpm dapat disesuaikan
Target Magnetron	- jumlah: 2 sampai 2 inci - Pendinginan: Berpendingin air (laju aliran 10L/mnt)
Ruang Vakum	- dimensi: Φ219mm x 280mm (baja antikarat) - viewport: φ40mm jendela kwarsa - Pemuatan: Desain bukaan depan/atas dengan  rana yang bisa diputar untuk pengalihan target
Catu Daya	- DC + RF: 1 300W (maks), [ ≤600V Tambah [, Tambah bintik], waktu respons <5 ms.
Sistem Pendinginan	- tangki air: Kapasitas 9L, laju aliran 10L/mnt
Monitor Ketebalan	- Akurasi: 0.1Å (opsional, berpendingin air)
Pompa Vakum	- Primer: Pompa bilah putar (1,1L/s) - Sekunder: Pompa molekuler turbo (60L/dtk, impor tingkat) - Port: KF40 (inlet), KF16 (Outlet)
Umum	- Daya: AC 220V, 50Hz, total 4,5kW

 

Fitur

1. Multi-Layer Deposisi
   • Suara co-spucap dua target dengan rana mekanis untuk deposisi berurutan/pulsa.
   • Tahap putar berpemanas memastikan keseragaman film (mis., untuk tumpukan campuran/oksida).
2. Kinerja Vakum Tinggi
   • Ruang baja anti karat (tekanan dasar <10^-5 Pa dengan pompa yang direkomendasikan).
   • Pompa turbo kelas impor yang ringkas meminimalkan jejak sekaligus mempertahankan kecepatan 60L/s.
3. Kontrol proses
   •  Pemantauan ketebalan real-time opsional (resolusi 0.1Å).
   • Desain pemuatan depan dengan jendela kwarsa untuk observasi di tempat.

 

Aplikasi

• Elektronik: Stiker konduktif/logam (mis., Au, Al, Cu).
• Optik: Lapisan anti pantulan/IR.
• Penelitian: Sampel Multilayer Sem, film tipis keramik (dengan daya RF).

 

Catatan Teknis

• Pompa tidak disertakan - kompatibel dengan pompa molekuler impor (mis., Pfeifferase HiPace 80).
• Dapat dimutakhirkan: Tambahkan pulsed DC atau daya RF tambahan untuk reaktif.

 

Mengapa memilih Sistem ini?
 Hemat ruang: Desain desktop (dioptimalkan untuk lab dengan ruang terbatas).
 DePosition Fleksibel: Target sakelar tanpa menyedot debu.
 Presisi Kelas Industri: Kontrol temperatur ±1 C, pompa cepat.
Untuk konfigurasi OEM (mis., sistem 4-target), hubungi tim engineering kami.

 

*Catatan: Semua spesifikasi sesuai dengan ISO 9001. Manifold gas khusus (misalnya, MFC 4 saluran) tersedia atas permintaan.