CAS No: | 75-73-0 |
---|---|
Rumus: | CF4 |
EINECS: | 200-896-5 |
Konstituen: | Industrial Pure Air |
Standar nilai: | Kelas Industri |
Bahan kimia: | Gas tidak mudah terbakar |
Pemasok dengan izin usaha terverifikasi
Aplikasi SF4:
karbon tetrahfluoride merupakan gas dalam jumlah besar yang dapat diserap industri mikroelektronik saat ini. Ini merupakan campuran gas murni yang sangat murni dan oksigen berkarbon tetrafluoride. Penggunaan silikon di silikon besar pada silikon, silikon dioksida dioksida, silikon nitam, kaca silikon fosfor dan bahan film tungsten.Item | Indeks | ||
CF4, %(V/V)≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
N2, 10-6(V/V) ≤ | 4 | 20 | 40 |
O2, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
CO2, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
CO, 10-6(V/V) ≤ | 0.3 | 0.5 | 1 |
SF6, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 1 | 5 |
H2O, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
HF, 10-6(V/V) ≤ | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
TFC(CH2F2,CHF3,C2F3,C3F8),10-6(V/V) ≤ | 1 | 10 | 30 |
Total Konten pengotor, ppm (V/V) ≤ | 10 | 50 | 100 |
Parameter Assay Kritis |
Satuan | Perusahaan Anda Spesifikasi |
Analisis Hasil |
Metode Analisis |
Tetrahoromethane (CF4) | %(v/v) | 99.999% mnt | >99.999% | SISTEM |
Oksigen(O2) | v.ppm | <1.0 | <0.2 | SISTEM |
Nitrogen(N2) | v.ppm | <1.0 | <0.6 | SISTEM |
Karbon monoksida(CO) | v.ppm | <0.5 | <0.2 | SISTEM |
Karbon dioksida (CO2) | v.ppm | <0.5 | <0.2 | SISTEM |
Hexlaf sulfur (SF6) | v.ppm | <0.2 | <0.1 | SISTEM |
Trifluoromethane(CHF3) | v.ppm | <0.5 | <0.1 | SISTEM |
Miokarbon (OFC)* lainnya | v.ppm | <1.0 | <0.7 | SISTEM |
Total Hydrocarbon(THC)* | v.ppm | <0.5 | <0.1 | SISTEM |
Kelembapan (H2O) | v.ppm | <0.5 | <0.2 | Penganalisis Kelembapan |
Keasaman(seperti HF) | v.ppm | <0.1 | <0.08 | Penganalisis keasaman |
Kandungan najis | v.ppm | ≤10.0 | <10.0 | SISTEM |
Bersama(>0.1μm) | pcs/liter | <10.0 | <1.0 | ICP-MS |
Tentang Kami:
Qingdao Ruko Rubesky Energy Co., Ltd terletak di Qingdao, pelabuhan laut terbesar di Cina, memiliki keunggulan pengiriman yang nyaman.Pemasok dengan izin usaha terverifikasi