Function: | Abrasion Resistance |
---|---|
Certification: | CE |
Warranty: | 12 Months |
Automatic Grade: | Semiautomatic |
Installation: | Vertical |
Driven Type: | Electric |
Pemasok dengan izin usaha terverifikasi
Microwave Plasma Cleaner
SPV-100MWR adalah sebuah sistem pembersihan plasma microwave dengan voltase rendah untuk semikonduktor. Dengan menerapkan microwave dengan frekuensi 2.45GHz pada jendela di dinding rongga vakum, sejumlah besar Plasma yang terus dihasilkan, dan chip dibersihkan dengan masuk ke rongga.
Host plasma vakum | ||
Ukuran peralatan | 1230X1800X1100mm (lebar x tinggi x kedalaman) | |
Berat | 450kg | |
Permintaan daya | AC380V, 50/60Hz, 5-kabel, 30A | |
Spesifikasi generator plasma | ||
Catu daya microwave | Daya | 0 50W |
Frekuensi | 2.45GHz | |
Sistem vakum | ||
Material | Aloi aluminium (ruang baja antikarat yang dapat disesuaikan) | |
Ketebalan | 25mm | |
Dimensi internal rongga | 480mmX470mm480 mm | |
Ruang kerja | 6 bagian majalah | |
ECR | Majalah SLOTED memberikan dampak pemrosesan yang benar-benar ditingkatkan | |
Kemampuan Plasma | ||
Kemampuan pemrosesan | 35um Pitch 40μm benturan 15X15 mm ukuran die maksimum |
Pemasok dengan izin usaha terverifikasi