Semiconductor Chip Manufacturing Equipment Silicon Carbide Etching Rie Plasma Glam Lepaskan

• After-sales Service: 1 Year
• Certification: CE
• Warranty: 12 Months
• Automatic Grade: Semiautomatic
• Installation: Vertical
• Driven Type: Electric
• Tidak. Model.: 0
• Mould Life: >1,000,000 Shots
• berat: 800
• sumber plasma: rf
• lingkup yang berlaku: 4~8inch
• Single Processing Slice Count: 1
• Paket Transportasi: Minder-Hightech
• Spesifikasi: 850mmx900mmx1850mm
• Merek Dagang: minder-hightech
• Asal: China

Deskripsi Produk

 

Deskripsi Produk

Internet PLASMA RIE RIE
Silikon karbid
Pembersihan permukaan setelah melakukan etching
DESCUM
Lapisan pelindung keras, pembuangan kering
Silikon oksida atau silikon nitam nitring
Pelepasan ketahanan optik di antara media
Pembersihan residu permukaan

Parameter Produk

 

SUMBER PLASMA		RF
daya	ICP	1000w
	BIAS	600 w(opsi)
Lingkup yang berlaku		4 inci
Jumlah irisan pemrosesan tunggal		1
Ukuran tampilan		850mmx900mmx1850 mm
Kontrol sistem		PLC
Tingkat otomatisasi		Manual

 

Profil Perusahaan

Kami memiliki pengalaman 16 tahun dalam penjualan peralatan, dan dapat memberikan solusi Peralatan Lini Paket IC sekali jalan!!
Internet PLASMA RIE RIE
Silikon karbid
Pembersihan permukaan setelah melakukan etching
DESCUM
Lapisan pelindung keras, pembuangan kering
Silikon oksida atau silikon nitam nitring
Pelepasan ketahanan optik di antara media
Pembersihan residu permukaan