Secara otuctively Couping Machine-ICP untuk Si/Sio2/Sinx/ sic

• Layanan purna jual: instalasi, pelatihan
• Garansi: garansi satu tahun
• Tipe: Mesin Pengetsaan Listrik
• Objek: berbasis silikon:si/sio2/sinus terjadi
• Penggunaan: Korosi & berlubang
• Sertifikasi: ISO9001: 2000, CE
• Tidak. Model.: MD150-SICP
• Jenis Pengetasan: lekukan ion reaktif
• Presisi: Presisi tinggi
• Kondisi: Baru
• Paket Transportasi: Wooden Case
• Spesifikasi: 1170*750*1080mm
• Merek Dagang: Minder-Hightech
• Asal: Cina
• Kapasitas Produksi: 10set/Month

Deskripsi Produk

Dipilih secara halus plasma mesin-ICP

Item	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Ukuran produk	≤6 inci	≤8 inci	≤6 inci	≤8 inci	Kustom≥12 inci
Sumber Daya SRF	0 0W/2000W/3000W/5000Wdapat disetel,Pencocokan otomatis\,13,56MHz/27MHz
Sumber Daya BRF	0 300W/0 500W/0 500Wdapat disetel, pencocokan otomatis,2MHz/13,56 MHz
Pompa molekuler	Tidak korosif: 600 /1300 (L/s)/Kustom		Anti-korosi:600 /1300 (L./s)/Custom		600/1300(L/s) /Custom (Kustom)
Pompa foreline	Pompa mekanis/pompa kering		Pompa anti karat kering		Pompa mekanis/pompa kering
Pompa pra-pemompaan	Pompa mekanis/pompa kering		Pompa mekanis/pompa kering
Tekanan proses	Tekanan tidak terkontrol/tekanan terkontrol 0-0.1/1/10Torr
Jenis gas	H2/CH4/O2/N2/AR/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/CUSTOM (Hingga 12 saluran, tanpa gas korosif & beracun)		H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/C2/BCl3/HBr/ Custom (hingga 12 channels) (Khusus (hingga 2 saluran))
Kisaran gas	0 scm/50scm/100scm/200scm/300scm/500sccm/1000scm/Kustom
LoadLock	Ya/tidak		Ya
Kontrol tersebut	30 10 C masuk - 150 C/Kustom		30 derajat C/Kustom 200 derajat
Pendinginan helium berbalik	Ya/tidak		Ya
Lapisan rongga proses	Ya/tidak		Ya
Kontrol sistem dinding rongga	Tidak ada/tidak ada di kamar 60 - 120		Kamar 60 - 120
Sistem Kontrol	Otomatis/khusus
Etching material	Silikon-base: Si// SiNx/ sic..... Bahan organik:PR/organik film......		Silikon-base: Si/SiO2/SiNx/sic III-V: InP/Gas/GaN...... IV: Sic II-VI: CdTe...... Material campuran/material logam Bahan logam: NI/Cr/Al/Cu/Au... Bahan organik: PR/film organik...... Silikon dalam etching

Hasil proses
Quartz / silikon / kisi-kisi
Menggunakan topeng BR-etquartz atau bahan silikon, pola kisi-kisi mempunyai garis tertipis hingga 300nm dan kelerengan dinding samping pola mendekati > 89 yang dapat diterapkan ke layar 3D, perangkat mikro optik, komunikasi elektronik optsesuai, dll.


Gabungan/semikonduktor
Kontrol yang akurat atas suhu permukaan sampel dapat dengan baik mengontrol morfologi etching berdasarkan GaN, Gas, InP dan material logam. lt sesuai untuk perangkat LED biru, laser, komunikasi optik, dan aplikasi lainnya.


Pengaturan materi berbasis silikon
Hal ini cocok untuk bahan berbasis silikon etching seperti Si, SiO2, dan SiNx. lt dapat menyadari garis silikon dan mempunyai silikon di atas 50nm serta lubang dalam di bawah 100um