Tipe: | Peralatan Pemanasan Keramik |
---|---|
Sertifikasi: | CE, TUV |
Struktur: | Tipe Horizontal |
Merek: | Cy |
tarif pemanas: | 20 c/mnt. |
akurasi suhu: | +/-1c |
Pemasok dengan izin usaha terverifikasi
Debu Konstruksi |
Casing baja lapisan ganda dengan pendinginan udara Isolasi serat alumina dengan kemurnian tinggi untuk penghematan energi maks. Penutup Spldapat diganti untuk memudahkan penggantian tabung |
Daya Konsumsi energi |
5 KW |
Tegangan Input | AC 208-240V Fase Tunggal, 50 atau 60 Hz |
Maksimum Suhu |
1200 C |
Kontinu Suhu |
1100 C |
Maksimum Laju Pemanasan |
<= 20 C /mnt |
Panjang Zona Pemanasan | Tiga zona: (Total 880mm, 35") Zona 1: 220mm (8.6" ) Zona 2: 440mm (17.3") Zona 3: 220 mm (8.6") |
Konstan Zona Temperatur |
Jika tiga zona disetel pada suhu yang sama, suhu yang konstan Zona ini panjangnya 25" (625 mm) dengan ketidaksesuaian suhu +/- 1oC. Jika hanya menggunakan satu zona ( zona tengah), zona suhu konstan adalah 4.3" (110 mm) Panjang dengan perbedaan suhu +/- 1oC. |
Akurasi Temperatur | +/- 1oC |
Elemen pemanas | FE-Cr-Alloby Allobed by Mo |
Kontroler Temperatur | Tiga pengontrol suhu presisi untuk mengontrol tiga zona secara terpisah. Kontrol otomatis PID dengan 30 segmen yang dapat diprogram untuk kontrol yang akurat laju pemanas, laju pendinginan , dan waktu diam. Perlindungan thermocouple yang terintegrasi mengalami panas berlebih & patah . Perlindungan temperatur berlebih dan alarm memungkinkan pengoperasian tanpa peserta. Akurasi suhu +/- 1 C. Port Komunikasi RS485.. |
Tabung Quartz& Flensa perapat |
Tabung kwarsa 1400 mm x 72 mm ID. X 80 mm yang digabung termasuk. Flensa vakum dengan katup dan pengukur tekanan disertakan. Blok termal harus diletakkan di dalam tabung sebagai gambar di bawah |
Vakum Flensa perapat |
Dua flensa baja antikarat dengan pengukur vakum dan katup disertakan. Tekanan vakum yang dicapai pompa mekanis adalah 5.5 m-torr. ( 5,5x10 amount -3 units ). Tekanan dapat mencapai 10 Amount sebanyak -5 kali dengan menggunakan pompa mekanis + molekuler. Tingkat kebocoran adalah < 5 m-torr / mnt. Dan tekanan vakum yang stabil setelahnya 24 jam adalah < 2 jamur . |
Pemantauan Oksigen | Sensor Oksigen dapat digunakan untuk memantau oksigen tingkat gas Digunakan dalam sistem CVD untuk mencegah atau mengurangi oksidasi. Klik gambar di bawah ini untuk pelajari selengkapnya : |
Pompa Vakum | Pompa Vane vakum 120 l/m disertakan dengan vakum maks tekanan 10 Pipa selang baja antikarat disertakan untuk menghubungkan ke pipa debu. |
Gas Flow meter (meter Aliran Gas) dan Pengukur Tekanan |
Tiga meter aliran gas (4% akurasi FS) diinstal di dalam mobile case untuk memungkinkan pemantauan laju aliran gas Pengukur aliran pembacaan langsung ringkas, 10-100 cc/mnt Pengukur aliran pembacaan langsung ringkas, 16-160 cc/mnt Pengukur aliran pembacaan langsung ringkas, 25-250 cc/mnt |
Katup | Empat katup baja antikarat dipasang di panel samping dari keranjang seluler ke kontrol pencampuran tiga gas masuk secara terpisah |
Dimensi | Tungku: 1100 X 450 x 670 mm Case Mobile bawah: 600x600x597 mm |
Pemasok dengan izin usaha terverifikasi