Type: | Stainless Steel Heating Equipment |
---|---|
Certification: | CE |
Structure: | Horizontal Type |
pengukur tekanan: | anti-korosi |
suhu maks: | 1100c |
generator uap-cair: | otomatis |
Pemasok dengan izin usaha terverifikasi
Panel Kontrol | Semua parameter aliran uap, ALD, dan Gas dipadukan ke dalam satu kereta seluler dan dikontrol oleh PLC melalui panel layar sentuh 6": Dua katup ALD Saluran Untuk saluran pengiriman gas MFC |
Katup ALD |
Dua katup ALD dengan kontroler pulsa (min. 10 ms durasi ) Dapat memanas dengan aktuator termal |
Generator uap cair | Generator uap cairan otomatis disertakan dan disambungkan ke ALD katup |
Tungku rotasi |
Maks 1100 untuk pemanasan kontinu Dua pengontrol suhu digital presisi dapat diprogram dengan 30 segmen. Daya masukan: 208 - 240V AC input, satu fase pada maks 4KW Kecepatan rotasi: 0 - 10 RPM |
Pengukur Tekanan Anti-korosif |
3.8x10-5 hingga 1125 rentang pengukuran Torr Anti-korosif dengan tipe gas independen Keakuratan dan daya reproduksi tinggi di lingkungan yang memiliki tekanan atmosfer yang andal deteksi Deteksi atmosfer yang cepat menghilangkan waktu tunggu dan mempersingkat siklus proses Elemen sensor plug & play yang mudah diganti |
Pompa Vakum ( opsional) |
TorR 10E-2 dapat dicapai di dalam tabung pemrosesan Pompa vakum tidak disertakan , sarankan Anda untuk memesan pompa untuk proses CVD dengan mengklik gambar di bawah ini |
Garansi | Garansi terbatas selama satu tahun dengan dukungan seumur hidup |
Pemasok dengan izin usaha terverifikasi