Plasma Enhance Atomic Layer DePosition System (PEALD) Single-Wafer DepPosition System

• Type: Coating Production Line
• Coating: Vacuum Coating
• Certification: CE
• Condition: New
• dimensi wafer: 12 inci dan kurang
• suhu wafer: rt-500c, mengontrol presisi +-0,1c
• jumlah prekursor: tiga garis prekursor,baris-baris lainnya opsional
• temperatur saluran prekursor: rt-200c,mengontrol presisi +-0,1c
• katup ald: katup swagelok dengan suara cepat
• vakum latar belakang: <5*10-3torr
• sistem pembawa gas: n2 atau ar
• Paket Transportasi: Standard Export Wooden Box Packaging
• Merek Dagang: CYKY
• Asal: Zhengzhou Henan China
• Kode HS: 8412800090
• Kapasitas Produksi: 200 Sets Per Month

Deskripsi Produk

Plasma Enhance Atomic Layer DePosition system (PEALD) single-wafer system


Pengenalan Sistem:
Sistem PEALD adalah sebuah sistem dengan wafer tunggal yang dirancang khusus untuk riset ilmiah dan eksploitasi industri di bidang aplikasi khusus. Elektrik sistem yang sesuai sepenuhnya dengan kriteria CE. Sistem ini telah memperluas rentang sumber prekursor pilihan, tingkat deposisi film yang ditingkatkan, menurunkan temperatur deposisi, oleh karena itu, sistem ini digunakan secara luas dalam deposisi material yang sensitif terhadap temperatur dan film pada substrat lunak.

Manfaat Produk
Sistem Advanced software controling: Banyak fungsi yang terintegrasi dalam sistem,termasuk formulasi teknologi, setting parameter, popedom stetting, locking ad state Superb control.

Stiker ALD
Substansi dasar: Co, Cu, Ta, Ti, W, GE, PT, Ru, Ni, Fe...
NitRide: Timah, sin, AlN, tan, ZrN, HfN, WN ...
Oksida: TiO2, HfO2, SiO2, ZnO, ZrO2, Al2O3,,...
Gas: Gas, AlP, InP, GAP, PDA, SrilxOy, Srilanka, Taanakin6...

Bidang aplikasi PEALD
Oksida gate-k tinggi
Elektrik kapasitor penyimpanan
Hambatan difusi dengan rasio aspek tinggi untuk interkoneksi Cu
Lapisan passim bebas lubang pin, untuk OLED dan polimer
Lapisan yang sangat formal untuk aplikasi MEMS
Lapisan struktur nanoor
Doping serat khusus
Baterai surya
Layar pelat datar
Lapisan tipis optik
Film nano dengan struktur khusus lain

Parameter teknis Sistem PEALD:

Dimensi wafer		12 inci dan kurang
Suhu wafer		RT-500±, mengontrol presisi 0,1celcius
Jumlah prekursor		Tiga garis prekursor,baris-baris lainnya opsional
Temperatur saluran prekursor		RT-200±, mengontrol presisi 0,1
Temperatur botol sumber		RT-200±, mengontrol presisi 0,1
Katup ALD		Swagelok ALD Swift Valve
Vakum latar belakang		<5*10^-3Torr
Sistem pembawa gas		N2 atau Ar
Mode pertumbuhan		Mode deposisi interval atau berurutan
Plasma jiwa		Plasma hasil pengosongan ICP jarak jauh 300W
Sumber gas listrik plasma		Tiga garis standar, garis lainnya opsional
Sistem kontrol		PLC plus layar sentuh atau tampilan
Catu daya		50-60HZ,220V/20A AC
Pencegahan dan Produk Simpanan		Heterenity<±1%,
Dimensi instrumen		1000mmx750mmx1600 mm

Foto yang terkait dengan Sistem:

Berdiri sejak tahun 2005, Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd., adalah perusahaan yang berspesialisasi pada pengembangan dan produksi alat penelitian teknologi laboratorium. Tetapi yang dihasilkan juga campuran, yang tertekan, dibakar, dipotong-potong, dipotong-potong, perangkat yang dipoles, berlapis, dan peralatan analitis, dan peralatan yang terkait. Produk termasuk peralatan laboratorium, peralatan pelapisan dan lain-lain. Saat ini, negara telah diekspor ke 25 negara dan kawasan seperti Amerika Serikat, Eropa, dan Asia Tenggara, dan telah diterima dengan baik oleh berbagai unit penelitian ilmiah.

Perusahaan kami memiliki tim riset dan pengembangan teknologi yang matang, jumlah teknisi 33, perusahaan ini memiliki 150 orang, lebih dari 500 meter persegi, area kantor, sekitar 1,500 meter persegi, yang berlokasi di Zhengzhou High-tech Industrial Electronic Park. Produk ini terutama terletak di pasar penelitian, memberikan riset ilmiah di lab universitas dan akademi, serta dapat menyesuaikan produk sesuai kebutuhan Anda.

T. Apakah Anda adalah pabrikan atau perusahaan dagang?

Kami adalah produsen alat laboratorium profesional, memiliki tim desain dan pabrik sendiri, memiliki pengalaman teknis yang matang, dan dapat menjamin kualitas produk dan harga optimal.

T. bagaimana sistem layanan purna jual produk perusahaan Anda?

A.  periode garansi produk adalah 12 bulan, kami dapat memberikan perawatan seumur hidup. Kami memiliki pra-penjualan profesional dan departemen purna-penjualan yang dapat merespons Anda dalam waktu 24 jam untuk mengatasi masalah teknis apa pun.

T. berapa lama waktu pengiriman Anda? Jika saya ingin menyesuaikan instrumen, berapa lama waktu yang diperlukan?

A.1. Jika barang-barang tersebut ada, berarti 5-10 hari. 2. Kami dapat menyediakan layanan yang disesuaikan untuk pelanggan kami. Biasanya berlangsung selama 30-60 hari tergantung pada spesifikasi instrumen yang disesuaikan.

T. pasokan daya dan steker negara kami berbeda. Bagaimana cara mengatasinya?

A. kita dapat menyediakan trafo dan steker sesuai kebutuhan setempat dan steker listrik di berbagai negara.

T. bagaimana cara membayar?

A.T / T, L / C, D / P, dsb., disarankan untuk menggunakan Alibaba Trade Guarantee.

T. bagaimana paket barang ini? Metode penyampaian?

A.1. Fumigasi ekspor standar menandai kemasan kotak kayu 2. Express, udara, kapal laut sesuai dengan kebutuhan pelanggan, dapat menemukan cara yang paling sesuai.

Pertanyaan lainnya, harap hubungi layanan pelanggan.