Type: | Ceramic Heating Equipment |
---|---|
Certification: | CE, TUV |
Structure: | Horizontal Type |
Brand: | Cy |
flensa perapat: | baja anti karat |
frekuensi rf: | 13,56mhz |
Pemasok dengan izin usaha terverifikasi
Struktur Sistem |
rangka kemiringan 0 25 yang dapat disetel membantu pemuatan/pembongkaran bubuk yang mulus Catu daya RF 300W (13,56Mhz) dengan jaringan yang cocok memungkinkan Anda pemrosesan plasma yang disempurnakan, yang secara signifikan mengurangi kebutuhan proses suhu-tinggi Rotasi tabung yang digerakkan dengan roda gigi memungkinkan pemrosesan tipe "memblender" untuk bubuk untuk mencapai keseragaman pemrosesan terbaik Stasiun pencampuran gas empat saluran dengan MFCs memfasilitasi kontrol yang akurat penyaluran gas Integrasi perahu evaporasi Sumber naik dengan coil tungsten Memungkinkan Anda untuk kolimasi dengan zat pendahulu padat untuk kebutuhan Hybrid Pemrosesan menurut kimia fisik |
Tungku Rotary dua Zona |
Suhu kerja: 1200 atau Maks (<1 jam)., dan 1100 untuk pemanasan kontinu Dua pengontrol suhu PID dengan 30 segmen yang dapat diprogram. Daya Input: 208 - 240VAC, fase tunggal pada maks. KW. Isolasi murni serat fiem tinggi untuk penghematan energi maks Motor DC roda-gigi menggerakkan tabung kwarsa dengan kecepatan variabel 2 - 10 RPM Penutup terpisah memungkinkan pendinginan lebih cepat dan pengoperasian yang mudah Dua zona: Setiap panjang zona 8" (200 mm), total zona pemanasan 16" (400 mm) Zona suhu konstan: 200 mm dalam +/-1oC jika dua zona dalam suhu yang sama. |
Catu Daya RF Plasma |
Daya Keluaran: 5 - 300 W dapat disetel dengan stabilitas ± 1%. Frekuensi RF: Stabilitas 13.56 MHz ±0.005%. Daya Refleksi: 100W maks. Pencocokan: Otomatis Port Output RF: 50 Ω, jenis N, betina Noise: <50 dB. Pendinginan: Pendinginan udara. Daya: 208-240VAC, Fase Tunggal, 50/60Hz |
Kapal evaporasi | Suhu kerja: 1.000 Max (<1 jam)., dan 1.000 untuk pemanasan kontinu 0,7ml alumina salib dengan dikelilingi tungsten heating coil. Sisipan TERMOKOPEL tipe S untuk pengukuran temperatur yang akurat dari material sumber. Catu daya penguapan DC 500W dengan arus operasi maks. @ 30Amp |
Flensa perapat |
Standar: Tabung pemrosesan quartz gabungan 4'' Satu pasang flensa perapat SS 60mm dengan gas yang dapat diputar katup jarum konektor dan disertakan untuk penggunaan segera |
Flensa perapat |
Sepasang flensa lepas cepat 1'' dengan KF25 port dipasang di setiap ujung tabung Kopling sambungan putar seal magnetic fluid digunakan untuk memungkinkan putaran tabung tanpa memutar garis pendek atau attachment hilir (seperti gas, bubuk, dan saluran pengiriman listrik |
Kecepatan Rotasi Tabung | 5 - 0 RPM variabel |
Sudut Kemiringan dapur | 0 30 |
Pompa Vakum & Pengukur |
Pompa Vakum dua tahap Kinerja Tinggi EQ disertakan dalam penjualan Adaptor KF25 dan bellow baja antikarat terhubung di antara pompa dan flensa tabung TorR 10E-2 dapat dicapai di dalam tabung pemrosesan Catatan: Pengukur Vakum tersedia dengan biaya tambahan |
Stasiun Pencampuran Gas MFC |
Empat meter aliran massa presisi (akurasi 0.02%) dengan tampilan digital dipasang di kotak bawah untuk mengontrol laju aliran gas secara otomatis. MFC 1: Kisaran aliran gas dari 0-100 SCCM MFC 2&3: Rentang kendali dari 0-200 SCCM MFC 4: Rentang kontrol dari 0-500 SCCM Fitting saluran masuk/saluran keluar gas: Fitting tabung O.D 6mm Daya: 208-240VAC 50/60Hz Katup jarum baja antikarat untuk kontrol ON/OFF pasokan gas secara manual. Kontrol layar sentuh PLC besar memungkinkan pengaturan laju aliran yang mudah |
Kontrol Temperatur |
Dua desain zona pemanasan dengan kontroler temperatur individual Kontrol PID yang presisi terhadap pemanasan, laju pendinginan, dan waktu diam, 30 segmen yang dapat diprogram untuk Perlindungan thermocouple terintegrasi yang panas & patah. Perlindungan suhu berlebih dan alarm memungkinkan pengoperasian tanpa penjawab. +/- akurasi suhu 1 derajat. Tiga termokopel tipe K (satu untuk setiap zona). Port Komunikasi RS485. |
Garansi | Garansi terbatas selama satu tahun dengan dukungan seumur hidup |
Pemasok dengan izin usaha terverifikasi