Application: | Industry, School, Lab |
---|---|
Customized: | Customized |
Certification: | CE |
Structure: | Desktop |
Material: | Stainless Steel |
Type: | Tubular Furnace |
Pemasok dengan izin usaha terverifikasi
Menyiapkan film berlian yang berkualitas tinggi seperti kristal;
Menyiapkan film-film berlian berkualitas tinggi;
Penyiapan berbagai film karbon nano seperti grafene, karbon nanoturobes, film penuh henes dan film-film berlian.
Fitur
a. Jenis rongga baja antikarat 6kw peralatan plasma microwave, kerapatan daya tinggi;
b.. Panggung sub-strat berpendingin air dan ruang logam berpendingin air memastikan sistem dapat bekerja dengan stabil untuk waktu yang lama;
c. Suhu substrat dicapai dengan pemanasan otomatis microwave.
d. Instrumen pengukur vakum mengadopsi pengukur vakum rentang penuh, yang bisa mengukur tekanan gas dan vakum latar belakang dengan akurat;
e. Pompa vakum dan katup mengadopsi pompa molekuler turbo (vakum yang teristimewa adalah 1 penukar ASCII 10-5Pa) dan pompa vakum mekanikal rotary putaran (vakum paling sempurna adalah 1Pa), dan sistem dapat mengontrol tekanan deposisi;
f. Sistem sirkulasi air pendingin untuk memastikan keamanan jangka panjang dan menjaga perangkat tetap stabil dan berdaya tinggi;
g. Layar sentuh 15 inci, kontrol otomatis PLC bisa menyetel suhu atau tekanan agar tetap konstan, bisa menyimpan dan menggunakan kembali hingga 20 kumpulan file proses;
Modul kontrol proses otomatis penuh, yang dapat stabil dan andal menyiapkan film berlian dan kristal berkualitas tinggi
Spesifikasi teknis:
Sistem microwave |
frekuensi microwave |
2450±25MHz |
daya keluaran |
0,6kw dapat disesuaikan secara terus-menerus |
|
Penyesuaian microwave |
3-stub tuner Antena konversi mode |
|
Perlindungan pantulan microwave |
Melingkar, beban air |
|
Mode pengoperasian microwave |
TMP013 |
|
kebocoran microwave |
≤ 2 mw/cm2 |
|
sistem vakum |
Kisaran tekanan pengoperasian |
10 lakukan 250 Torr |
Kontrol tekanan otomatis |
40 lakukan 250 Torr |
|
Pompa vakum |
Pompa vakum rotary-vane 4.4L/dtk |
|
Integritas vakum |
< 1,0x10-9 Pa * m3 /dtk (oleh detektor kebocoran Helium) |
|
Kapasitas penahanan tekanan |
Kenaikan tekanan kurang dari 0.2 Torr setiap 24 jam |
|
Vakum paling sempurna |
0,1Pa(7.5 x10-4 Torr) |
|
Pengukuran vakum |
Pengukur film merek |
|
Reaktor vakum |
Bahan dan struktur reaktor |
baja anti karat berpendingin air lapisan ganda |
Segel vakum |
Seal logam + seal ring fluoruber (pintu beban) |
|
ID reaktor |
φ140mm |
|
Contoh jendela tabel |
Port Segiempat 105x50mm, Pintu depan ber-seal dengan O-ring Fluorine |
|
Jendela pengawas |
Dua port, Lubang besar CF35, 180 applying distribusi |
|
Jendela pengukuran suhu |
Sudut horizontal kedua jendela 25 30, distribusi 180 Jendela ini mudah dideteksi temperatur contoh tahap dari sudut miring bagian atas bagian dalam reaktor ke bawah |
|
Tahap sampel |
Platform substrat berpendingin air pengangkatan listrik φ100mm,rentang tinggi yang dapat disesuaikan 0 mm |
|
Bila diameter substrat molibdenum adalah ≥50mm, bola api plasma dapat menutupi seluruh subtahap pada 5000W dan 180torr |
||
Suhu tanah 250 derajat celcius Bergantung pada parameter proses |
||
Saluran gas |
Meter Aliran dan katup kontrol aliran yang diimpor dari Jepang |
|
Menyediakan sistem 4-saluran MFC |
||
4Aliran maksimum MFC:H2: 1000scm,CH4:100scm,O2:20sccm,N2:2sccm |
||
Sistem pengukuran suhu |
Sistem pengukuran suhu inframerah Jerman Raytek, rentang suhu: 300 - 1300 |
|
Perangkat lunak sistem |
15"layar sentuh dengan kontrol PLC, antarmuka operasi pengguna yang mudah digunakan |
|
Sistem mendukung dua level pengguna: Insinyur dan operator, dan menyediakan fungsi manajemen otoritas pengguna |
||
Sistem ini dilengkapi dengan perlindungan otomatis seperti kekurangan air, kekurangan udara, kegagalan fase catu daya, lonjakan bola api, kelebihan beban suhu, pengapian, dan lain-lain |
||
Hingga 10 kumpulan resep proses dapat diatur, masing-masing kumpulan memiliki 40 baris data, proses produksi secara otomatis dikontrol oleh resep proses, dan data proses dapat dicadangkan dan diekspor melalui disk U. |
||
Sistem dilengkapi dengan ekstraksi udara, pengapian, pemanasan, pendinginan, dan proses-proses lain yang dapat dilakukan secara otomatis, sehingga pengguna dapat beroperasi dengan mudah |
||
Kontrol temperatur dan kontrol tekanan udara otomatis sepenuhnya mengurangi secara signifikan beban kerja operator sistem |
Foto peralatan:
Pemasok dengan izin usaha terverifikasi