Aplikasi: | Sekolah, Lab |
---|---|
Disesuaikan: | Disesuaikan |
Sertifikasi: | CE, tuv |
Struktur: | Desktop |
Material: | Baja |
Tipe: | mpvd tungku |
Pemasok dengan izin usaha terverifikasi
Peralatan deposisi kristal kristal kristal Tunggal MPCVD
Sistem deposisi uap kimia plasma microwave MPCVD (MPCVD) terutama digunakan dalam film kristal dan shpoly Crystal Diamond, deposisi uap kimia lapisan berlian dan lapisan tipis (CVD), pengolahan dan modifikasi permukaan material, pertumbuhan oksida suhu rendah, dan bidang lain.
Aplikasi
Persiapan single kristal berlian berkualitas tinggi;
Menyiapkan film berlian yang berkualitas tinggi seperti kristal;
Menyiapkan film-film berlian berkualitas tinggi;
Penyiapan berbagai film karbon nano seperti grafene, karbon nanoturobes, film penuh henes dan film-film berlian.
Fitur
1) efisiensi produksi tinggi, output besar, kualitas tinggi, berlian 7*7-81, berlian 8*8-65, 10*9--51 berlian, 12*10 -42 berlian, 15*12-26, 15*9- berlian
Ukuran yang berbeda, jumlah berlian yang berbeda.
2) Peralatan telah mencapai produksi industri. Tahap molibdenum sebesar 90 mm, dengan kecepatan pertumbuhan cepat, tingkat hasil tinggi, dan stabilitas yang baik.
3) Peralatan ini merupakan peralatan utama pertama di dalam dan luar negeri yang dapat mencapai produksi single kristal intan. Presisi dan kualitas komponen yang diproses sangat tinggi.
4)Kualitas pemrosesan peralatan kami cukup indah. Dilengkapi dengan teknologi produksi mutakhir untuk memastikan pelanggan menghasilkan produk yang berkualitas.
Spesifikasi teknis
Vakum | Pengukuran vakum | Piezo Resistif pengukur hambatan 0.1-100kpa Capackapasitansi 0-1000Pa |
Kisaran tekanan pengoperasian | 4-30kPa | |
Laju kebocoran vakum | <1*10-9 Pa·m 3 / dtk | |
Kontrol tekanan | Kontrol Otomatis | |
Bahan cavity | Ruang eksitasi campuran aluminium, ruang vakum kwarsa | |
Jendela pengamatan | Lubang pengukuran suhu dengan diameter 10 mm dan jendela observasi lubang port | |
Mode pendinginan | Mode pendinginan | Pendinginan air+pendinginan udara ruang |
Contoh ukuran tabel | Tahap molibdenum Φ 85mm, area seragam Φ 50mm | |
Pengukuran suhu | Termometer inframerah, berkisar 300-1400 derajat celcius | |
Aliran air pendingin | >50L/mnt | |
Temperatur air pendingin | 20-22CELCIUS | |
Antarmuka air pendingin | antarmuka kabel luar 1-inci | |
Sistem operasi | Sistem operasi | Kontrol PLC, kontrol layar sentuh 15 inci |
Menu proses | 10 menu proses, 25 baris untuk masing-masing menu | |
Microwave dan catu daya | Frekuensi microwave | 2.45±0,1GHz |
Daya keluaran | 1.5-10kw (dilengkapi dengan catu daya microwave domestik 10kw) | |
Listrik tenaga input | 380 AC/50Hz, lima kabel tiga fase (3 * 10+2 * 6 jalur daya),>15Kw | |
Laju kebocoran microwave | Laju kebocoran microwave 5 cm dari peralatan ≤ 5MW/cm2 | |
Gas proses | Flow-meter dan interface | H2 (1000SCCM) CH4 (50SCCM) N2 (10SCCM) O2 (10SCCM) 1/4 "VCR Steker cepat tabung kompresi 8mm Pu betina |
Flow-meter bisa mengubah jenis gas yang digunakan lewat perangkat lunak | ||
Tekanan suplai udara | 0.3-0,35MPa | |
Tekanan udara kompresi | 0.5-0,6MPa | |
Pompa vakum | Pompa vakum putar bilah | Pompa oli |
Kecepatan pemompaan | 4L/S | |
Catu daya | AC 380V(±10%) | |
Antarmuka | KF25, KF25, udara buang 25 | |
Lingkungan pengoperasian | Suhu dan kelembapan sekitar | Suhu ruangan di bawah 26 derajat celcius dan kelembapan lebih rendah dari 40% |
Dimensi keseluruhan | Ukuran | TAMBAH BINTIK PADA 800 ( L) PADA TAMBAH 1250 [ W ) PADA TAMBAH BINTIK 2100 ( H ) |
Kondisi penerimaan peralatan: | 1. Instalasi peralatan: Setelah pemasangan peralatan selesai, Party A dan Party B akan melakukan pekerjaan di lokasi, dan teknisi Partai B akan melakukan operasi peralatan, pelatihan keselamatan dan perawatan bagi orang yang bertanggung jawab atas Partai A. | |
2. Tes sistem: Sistem dapat dinyalakan dan dioperasikan secara normal, dan bola api yang dilepas stabil tanpa melompat. | ||
3. Kebocoran microwave: Kebocoran microwave kurang dari 5mW/cm2 (daya output sumber microwave lebih dari 80%, 10 cm dari peralatan) |
Informasi Kontak:
Pemasok dengan izin usaha terverifikasi