Layanan purna jual: | 1 Year |
---|---|
Garansi: | 1 Year |
Tipe: | Lapisan Produksi Garis |
Pelapisan: | Lapisan vakum |
Substrat: | Baja |
Sertifikasi: | CE |
Pemasok dengan izin usaha terverifikasi
Magnetron berpindahnya empat-target adalah magron yang efektif biaya yang memercik secara independen dikembangkan oleh perusahaan kita , yang memiliki karakteristik standardisasi, kosonisasi, dan penyesuaian luar modisasi. Target magnetron mempunyai pilihan 1 "2", pelanggan dapat memilih berdasarkan ukuran substrat berpelat; Catu daya adalah catu daya DC 500W dan catu daya RF 500W, catu daya DC dapat digunakan untuk penyiapan film logam, catu daya RF dapat digunakan untuk penyiapan film non logam, tiga target dapat memenuhi kebutuhan lapisan multi-lapis atau lapisan ganda. Jika pelanggan memiliki kebutuhan lapisan lain, Anda dapat menyesuaikan catu daya RF lain dan catu daya pulsa, setiap jenis catu daya memiliki beragam spesifikasi dari 300W hingga 1000W.
Instrumen pelapisan dilengkapi dengan dua meter aliran massa presisi tinggi. Jika pelanggan memiliki kebutuhan lain, mereka dapat menyesuaikan jalur gas hingga empat meter bunga massal untuk memenuhi kebutuhan konstruksi lingkungan gas yang kompleks; Instrumen ini dilengkapi dengan grup pompa turolokular tingkat lanjut, vakum batasnya dapat mencapai 1,1.0E-5Pa, dan pompa molekuler lainnya dapat dibeli. Rute gas pompa molekuler dikontrol oleh berbagai katup solenoid yang dapat mengetahui bahwa ruang dapat dibuka dan sampel dapat diambil tanpa pompa, yang sangat meningkatkan efisiensi pekerjaan Anda. Produk ini dapat dipilih sebagai komputer industri untuk mengontrol sistem, dalam program komputer dapat mencapai kontrol grup pompa vakum, kontrol catu daya yang canggih, dan fungsi lainnya, semakin meningkatkan efisiensi eksperimental Anda.
Empat instrumen target lapisan magnetron melicit dapat digunakan untuk menyiapkan film ferroelektrik satu atau multi-lapisan, konduktif film, lapisan campuran, film semikonduktor, film keramik, film dielektrik, film optik, film oksida, film keras, film polietrafluoroetilen dan seterusnya. Dibandingkan dengan alat yang serupa, magnetron tiga target percikan lkuat tidak hanya digunakan secara luas, tetapi juga memiliki keunggulan alat berukuran kecil dan pengoperasian yang mudah. Alat ini merupakan peralatan ideal untuk menyiapkan material film di laboratorium
Dual-target DC magron melickibar aplikasi air:
Perangkat ini dapat digunakan untuk menyiapkan film tipis ferroelektrik satu lapis atau multi-lapis, STIKER konduktif, lapisan tipis lainnya, dan semacamnya. Dibandingkan dengan alat yang serupa, magnetron target ganda tidaklah banyak digunakan, tetapi juga memiliki keunggulan dalam hal ukuran kecil dan mudah dioperasikan, dan merupakan alat yang ideal untuk menyiapkan film material di dalam laboratorium.
Dual-target DC magron Spateratpater dalam parameter teknis:
Pelapisan vakum sistem |
Vakum perakitan |
60m3/h mejadi dan KYKIDS molekuler pompa untuk membentuk sistem pemompaan dan dilengkapi dengan pengukur vakum komposit presisi tinggi untuk mengukur dan memantau tingkat vakum secara realtime; |
||
Waktu pemompaan |
Setelah sistem mencapai atmosfer untuk waktu yang singkat dan penuh dengan nitrogen kering, maka pemompaan dimulai. Penukar debu pada saat itu kurang dari 5 penukar ASCII 10-4Pa dalam 30 menit, dan derajat vakum kurang dari 5 Pa setelah sistem berhenti memompa dan mati selama 12 jam; | |||
Terbaik vakum |
[ ≤6 Tambah bintik di 10 (%) Pa | |||
Katup perakitan |
Katup pre-ekstraksi DN40, katup utama elektrik CF200, katup ventilasi DN16, katup solenoid DN40 , dan berbagai saluran vakum, dll. ( katup di atas bersifat pneumatik atau elektrik) | |||
Vakum otomatis konstan tekanan |
Peralatan dapat dengan cepat menjangkau vakum yang tinggi, dan dapat disesuaikan secara otomatis secara real time saat derajat vakum yang diperlukan tercapai setelah pemasukan udara proses, sehingga untuk mempertahankan tingkat vakum yang stabil, kurangi proses hingga tingkat tekanan yang tinggi, dan pastikan pengulangan sampel yang disediakan. | |||
Magnetron sangat ahli sistem reaksi generasi dan kontrol |
Pelapisan vakum batas ruang |
[ ≤6 Tambah bintik di Tambah 10 (% 1)/ Pa; berikan kecepatan pada penukar debu bocor: ≤8.0 Tambah penukar ASCII ( PostScript 10-7) | ||
Vakum ukuran ruang |
500 x 500 x 420mm, | |||
Jenis gas | Argon, nitrogen, hidrogen, oksigen | |||
Ukuran substrat juga berfungsi komponen |
Ukuran substrat Φ4 inci (kompatibel dengan ukuran kecil) dapat dipasang; rentang rotasi substrat 5-60 rpm dapat disesuaikan; suhu pemanasan Sub 600±1, dikendalikan oleh umpan balik thermocouple loop tertutup (yaitu Kontrol suhu PID) | |||
Pendinginan metode |
Pendinginan air | |||
Pembuangan endapan dan sistem kontrol | Kontrol sistem |
Sistem kontrol alat berat dengan lapisan PLC+ PC | ||
Asupan kerja tekanan konstan | udara | Gunakan pengukur vakum film tipis untuk pengukuran |
||
Mengukur rentang |
3 Pa 0.013 Pa | |||
Nomor target | ukuran, | target terkutter 4 2 inci | ||
Target Spasi |
Empat target diucapkan secara vertikal, dan jarak antara target dan sampel dapat disesuaikan | |||
Catu Daya |
2 set catu daya 500W RF yang berurat kibar (pencocokan otomatis), 2 set catu daya 500W DC berucap, 1 set catu daya 500W (meningkatkan densitas dan keseragaman lapisan film, dan memiliki fungsi pembersihan berpesan) | |||
Memproses udara Perakitan masuk |
Meteran aliran massa MFC 2 arah mengontrol aliran gas (0- 100SCCM, 0-200 SCCM), akurat disesuaikan menjadi 0.1 sccm | |||
Kemandulan |
Keseragaman ketebalan membran dalam sampel wafer berdiameter 4 inci kurang dari 3%, dan kesalahan antara titik tengah dan ketebalan tepi kurang dari 3% | |||
Lainnya | Suplai tegangan |
AC220V,50Hz | ||
Secara keseluruhan dimensi |
600 mm X 650 mm X 1280mm | |||
Alat berat berat |
350kg | |||
Alat berat daya |
4KW |
Berdiri sejak tahun 2005, Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd., adalah perusahaan yang berspesialisasi pada pengembangan dan produksi alat penelitian teknologi laboratorium. Tetapi yang dihasilkan juga campuran, yang tertekan, dibakar, dipotong-potong, dipotong-potong, perangkat yang dipoles, berlapis, dan peralatan analitis, dan peralatan yang terkait. Produk termasuk peralatan laboratorium, peralatan pelapisan dan lain-lain. Saat ini, negara telah diekspor ke 25 negara dan kawasan seperti Amerika Serikat, Eropa, dan Asia Tenggara, dan telah diterima dengan baik oleh berbagai unit penelitian ilmiah.
Perusahaan kami memiliki tim riset dan pengembangan teknologi yang matang, jumlah teknisi 33, perusahaan ini memiliki 150 orang, lebih dari 500 meter persegi, area kantor, sekitar 1,500 meter persegi, yang berlokasi di Zhengzhou High-tech Industrial Electronic Park. Produk ini terutama terletak di pasar penelitian, memberikan riset ilmiah di lab universitas dan akademi, serta dapat menyesuaikan produk sesuai kebutuhan Anda.
T. Apakah Anda adalah pabrikan atau perusahaan dagang?
Kami adalah produsen alat laboratorium profesional, memiliki tim desain dan pabrik sendiri, memiliki pengalaman teknis yang matang, dan dapat menjamin kualitas produk dan harga optimal.
T. bagaimana sistem layanan purna jual produk perusahaan Anda?
A. periode garansi produk adalah 12 bulan, kami dapat memberikan perawatan seumur hidup. Kami memiliki pra-penjualan profesional dan departemen purna-penjualan yang dapat merespons Anda dalam waktu 24 jam untuk mengatasi masalah teknis apa pun.
T. berapa lama waktu pengiriman Anda? Jika saya ingin menyesuaikan instrumen, berapa lama waktu yang diperlukan?
A.1. Jika barang-barang tersebut ada, berarti 5-10 hari. 2. Kami dapat menyediakan layanan yang disesuaikan untuk pelanggan kami. Biasanya berlangsung selama 30-60 hari tergantung pada spesifikasi instrumen yang disesuaikan.
T. pasokan daya dan steker negara kami berbeda. Bagaimana cara mengatasinya?
A. kita dapat menyediakan trafo dan steker sesuai kebutuhan setempat dan steker listrik di berbagai negara.
T. bagaimana cara membayar?
A.T / T, L / C, D / P, dsb., disarankan untuk menggunakan Alibaba Trade Guarantee.
T. bagaimana paket barang ini? Metode penyampaian?
A.1. Fumigasi ekspor standar menandai kemasan kotak kayu 2. Express, udara, kapal laut sesuai dengan kebutuhan pelanggan, dapat menemukan cara yang paling sesuai.
Pertanyaan lainnya, harap hubungi layanan pelanggan
Pemasok dengan izin usaha terverifikasi