Ganda Target Magnetron Spibar Coater dengan Transition Chamber (ruang Transisi)

• Disesuaikan: Disesuaikan
• Struktur: Desktop
• Material: Baja
• Sertifikasi: CE, ISO, TUV
• Aplikasi: Sekolah, Rumah sakit, Lab
• Tipe: Plasma
• Tidak. Model.: CY-MSP325G-2T-DVC-2DC
• Paket Transportasi: Ply Wooden Carton
• Spesifikasi: 1300x660x1200mm
• Merek Dagang: CYKY
• Asal: Zhengzhou, China
• Kode HS: 8486109000
• Kapasitas Produksi: 20 Sets/Month

Deskripsi Produk

magnetron meludah parameter teknis lebih ribar:

Nama produk	Serangan ganda magnetron memercik dengan ruang transisi
Model produk	CY-MSP325G-2T-DVC-2DC(double Vacuum Chamber)
Kondisi pemasangan	1 . Suhu lingkungan pengoperasian 25±15 55, kelembapan±%RH 10%RH; 2. Catu daya peralatan: AC220V, 50Hz, harus ditanahkan; 3. Daya tetapan: 5000 W; 4. Gas peralatan: Ruang peralatan harus diisi dengan argon untuk pembersihan, dan pelanggan harus menyiapkan argon, dengan kemurnian ≥99.99%; 5 . Ukuran tempat penukar penukar penukar penukar penukar penukar ASCII 1200 mm pada penukar ASCII 6 . Posisi penempatan memerlukan ventilasi yang baik dan penghilangan panas.
Parameter teknis	1. Catu daya Spkibar: Daya DC memasok daya 500W; tegangan output maksimal 600V, membatasi output saat ini 1000mA 2. Target Magnetron: Target 2 inci seimbang dengan kopling sambungan baffle magnetik; 3. Bahan target yang berlaku untuk target magnetron: φ50mm x 3mm bahan target logam konduktif 4 . Ukuran rongga: Rongga utama φ325mm x 410mm; rongga transisi 150x150x150mm 5 . Fungsi ruang: Ruang utama dilengkapi dengan pintu samping yang tersegel dengan gelang penyegel, jendela pengamatan kuarsa dengan baffle, dan batang pengoperasian manual untuk mentransfer sampel. Ruang transisi dilengkapi dengan penutup atas dengan jendela kwarsa yang diberi seal, batang dorong kopling magnetik untuk mengangkut sampel ke ruang utama, dan sistem vakum yang independen. 6 . Bahan rongga: Baja antikarat 304 7. Tabel sampel pemanas berputar: Kecepatan terus dapat disetel dari 1 hingga 20 rpm, suhu pemanas hingga 500 o C, dan kecepatan pemanasan 10 derajat C/mnt, serta suhu maksimum 20 derajat C/mnt 8. Metode pendinginan: Target Magnetron dan pompa molekuler membutuhkan pendsirkulasi water cooler ; 9. Cooler air: Tangki air hingga 9L, laju aliran 10L/mnt 10. Sistem suplai gas: Meter aliran massa,  gas AR jenis gas, laju aliran 1 ssccm (dapat disesuaikan);  Akurasi 11. Pengukur aliran: 1.5 rentang ±% 12. Antarmuka pemompaan ruang vakum adalah CF160; 13. Antarmuka saluran masuk udara adalah sambungan ferrule ganda 1/4 inci; 14. Display ini merupakan 14 komputer industri all-in-one; 15. Arus yang meludah dapat disetel, dan nilai arus yang sangat aman serta nilai vakum yang aman dapat disetel; 16. Perlindungan keselamatan: Arus Sppada arus yang naik akan terputus secara otomatis bila arus yang berlebihan dan tekanan vakum terlalu rendah; 17. Sistem vakum: Ruang utama dilengkapi pompa vakum molekuler tinggi CY-GZK103 dengan kecepatan pemompaan 600 L/s; ruang transisi dilengkapi dengan pompa molekuler kecil dengan kecepatan pemompaan 60L/s..  Kedua set sistem vakum dapat bekerja dan dikendalikan secara terpisah, dan katup pneumatik di antara kamar dan dalam sistem vakum semuanya dikendalikan oleh program-program yang dapat mewujudkan tindakan satu-kunci, yang praktis dan cepat. 18. Vakum paling: 5E-4Pa (dengan pompa molekuler); 19 . Pengukuran vakum adalah pengukur tekanan vakum komposit, dan rentangnya adalah: 10-5Pa 105Pa
Tindakan pencegahan	1. Untuk mencapai lingkungan yang lebih bebas oksigen, ruang vakum harus dibersihkan dengan gas inert sangat murni sedikitnya 3 kali. 2. Magnetron meludah sensitif terhadap volume udara masuk, dan meter aliran massal perlu digunakan untuk mengontrol volume udara masuk. 3. Biarkan rongga dalam vakum saat peralatan tidak digunakan. 4. Jika tidak pernah vakum untuk waktu yang lama, maka degassing seharusnya digunakan lagi untuk meningkatkan kinerja vakum.
Aksesori opsional
Monitor ketebalan film	Resolusi ketebalan film 1.: 0.0136Å (aluminium) 2. Akurasi ketebalan film: ±0.5%, tergantung pada kondisi proses, terutama posisi sensor, tegangan material, temperatur, dan kerapatan 3 . Kecepatan pengukuran: 100ms-1s/Time, kisaran pengukuran dapat diatur: 500000Å (aluminium) 4. Kristal sensor standar: 6MHz 5. Frekuensi chip yang berlaku: 6MHz ukuran chip yang berlaku: Φ14mm flensa pemasangan: CF35
Aksesori lainnya	10. Set pompa molekuler berkinerja tinggi seri CZK103 (termasuk pengukur vakum gabungan, kisaran pengukuran 1-5Pa 105103); CY-GZK60 series pompa molekuler kecil (termasuk pengukur vakum gabungan, rentang pengukuran 10-5Pa 102Pa) Pompa vakum vane bipolar VRD-4; 2. KF25/40 bellow vakum; panjang dapat 0,5m, 1m, 1,5 m; braket klem KF25 3. Osilator kristal pada meter ketebalan film;

Informasi Kontak: