DC/RF Dual-Head High Vacuum Magnetron Plasma Spribar Coater

• Type: Coating Spray Gun
• Coating: Vacuum Coating
• Substrate: Glass
• Certification: CE, TUV
• Condition: New
• magron meludah ke kanan: 2 inci
• Tidak. Model.: CY-VTC-600-2HD
• ruang vakum: baja anti karat
• tempat sampel: bisa diputar
• kontrol aliran gas: presisi
• garansi: satu tahun
• Paket Transportasi: Wooden Box
• Spesifikasi: dia. 140mm
• Merek Dagang: CY
• Asal: Zhengzhou, China
• Kode HS: 8543709990
• Kapasitas Produksi: 210 Sets Per Month

Deskripsi Produk

DC/RF Dual-Head High Vacuum Magnetron Plasma Spribar Coater
Pendahuluan singkat
VTC-600-2HD adalah sistem atnetron yang ringkas dengan sumber target ganda 2", mis., satu sumber DC dan sumber RF lainnya.Pelacak ketebalan film disertakan untuk memungkinkan pengguna mengontrol pemrosesan dengan mudah. Koprosesor ini dirancang untuk lapisan tunggal atau beberapa lapisan film untuk berbagai jenis bahan, seperti campuran, ferroelektrik, semikonduktor, keramik, Dielektrik, optik, PTFE dll. dengan biaya rendah.   
Spesifikasi  
 

Daya Masuk	220VAC 50/60Hz, fase tunggal  2000W (termasuk pompa)
Sumber Daya	Dua sumber daya yang menyebar terpadu dalam satu kotak kontrol Sumber DC: 500W untuk bahan logam berlapisan Sumber RF: 600 W dengan pencocokan otomatis untuk material non-logam lapisan
Magnetron Spibar Kepala	Dua kepala berukuran 2" Magnetron Spibar disertakan Satu terhubung ke catu daya RF untuk bahan tak konduktif Selain itu, dihubungkan ke sumber daya DC untuk material logam Persyaratan ukuran target: Diameter 2" Rentang ketebalan: 0.1 - 5 mm untuk target metalik dan non konduktif Pendinginan Air Kepala: Perlu aliran air 10 ml/mnt
Vakum Ruang	Ruang Vakum: 300 dia x tinggi 300 mm, terbuat dari baja antikarat Jendela Observasi: Diameter 100 mm Penutup tipe berengsel di bagian atas dengan olahraga pegas udara
Tempat Sampel	Ukuran penahan sampel: Diameter 140 mm untuk. 4" wafer maks   Kecepatan rotasi penahan sampel dapat disetel: 1 - 20 rpm Suhu tempat kerja dapat disetel dari RT hingga 500 derajat C Maks. Dengan akurasi +/- 1.0 SBP
Aliran Gas Kontrol	Dua MFC digital presisi (pengontrol aliran massa) diinstal
Pompa Vakum Stasiun	Sistem pompa vakum turbo kecepatan tinggi
Ketebalan Monitor	Satu sensor ketebalan kuarsa presisi dipasang ke dalam ruang Untuk memantau ketebalan lapisan dengan akurasi 0.10 Å