Sistem pembuangan laser sensor kontrol komputer untuk optik lapisan film
Pengantar singkat sistem pembuangan limbah laser denyut yang dapat disesuaikan:
Sistem deposisi laser pulsa, disingkat sebagai sistem PLD, sistem ini terdiri dari dua komponen: Ruang laser dan lapisan vakum yang dibebaskan; ruang lapisan vakum terdiri dari ruang vakum yang berkibar, tahap target berputar, tahap pemanasan substrat anti-oksidasi, jalur gas kerja, sistem ekstraksi gas, meja pemasangan alat berat, pengukuran vakum, dan sistem kontrol elektrik.
Komposisi peralatan sistem pembuangan limbah laser denyut yang dapat disesuaikan:
1. Laser
Berdasarkan rangkaian IPEX terlaris Lightkeleindustri laser grade-lima, laser ini dioptimalkan untuk aplikasi PLD; laser seri IPEX CAPEX menampilkan kinerja, ketahanan, keandalan, dan kinerja integrasi yang sangat baik untuk memenuhi persyaratan peneliti dan integrator sistem di lapangan deposisi laser pulsa (PLD).
1) keuntungan Laser
(1) Opsi Gaserer-1000 berfungsi dengan teknologi IKON untuk memanjangkan gas masa pakai dan pengurangan biaya pengoperasian
(2) keseragaman titik yang sangat baik dan stabilitas energi antara pulsa, lebar pulsa pendek
(3) Energi tetap konstan di semua frekuensi pengulangan
(4) fitur Securesealing otomatis menjaga agar tetap terisi dan berkurang waktu henti perawatan
(5) Dudukan optik yang sangat stabil untuk akurasi penunjuk sinar yang sangat baik
(6) Sistem pengiriman berkas sinar yang dapat disesuaikan agar sesuai dengan aplikasi PLD spesifik yang dibutuhkan
2) Kinerja stabil PLD
Energi pulsa konstan: Simpleks-740 / 760 laser eksiimer yang memadukan IKON dan teknologi Gaserver-1000 memiliki masa pakai gas dinamis dan statis yang tak tertandingi setelah pertukaran gas tunggal. Dari frekuensi pengulangan tunggal hingga maksimum, energi pulsa konstan pada semua frekuensi pengulangan. Metode ini menjamin bahwa parameter proses PLD tidak akan berubah seiring dengan perubahan waktu kerja laser dan frekuensi pengulangan.
Stabilitas denyut konstan: Metode pemantauan energi lanjutan digunakan untuk menyesuaikan energi pulsa, yang bisa secara akurat menyesuaikan tegangan pelepasan dan campuran gas, dan menjaga energi output konstan pada semua kondisi yang berfungsi (termasuk Mode Burst). Stabilitas pulsa ke pulsa lebih baik daripada 1%.
Stabilitas yang konstan menunjukkan: Braket optik inti stabilitas inti dengan stabilitas tinggi, memberikan kestabilan yang unggul terhadap 200μrad, memastikan tidak diperlukan kalibrasi ulang setelah perbaikan optik.
Kualitas sinar konstan: Distribusi intensitas sinar laser seri IPEX-740 / 760 dirancang untuk memiliki pinggiran tajam dan atasan datar, terutama memiliki perubahan minimal dalam masa pakai ruang laser.
3) Spesifikasi laser
| Panjang gelombang(nm) |
193 (GGA) |
248 (KrF) |
308(XeCl) |
| Aliran Pulsa stabil (MJ, stabilkan Pulse Energy) pada semua laju pengulangan |
Seri IPEX-740 |
150 |
400 |
250 |
| Seri IPEX-760 |
200 |
600 |
500 |
| Energi Denyut Maksimum(MJ) pada laju pengulangan rendah |
Seri IPEX-740 |
230 |
450 |
300 |
| Seri IPEX-760 |
250 |
700 |
600 |
| Daya Rata-rata stabil(W) |
SIMPLEKS-746 |
15 |
40 |
25 |
| SIMPLEKS-744 |
6.0 |
20 |
12 |
| SIMPLEKS-742 |
3.0 |
10 |
6.0 |
| SIMPLEKS-766 |
10 |
30 |
25 |
| SIMPLEKS-764 |
5.0 |
18 |
10 |
| SIMPLEKS-762 |
2.5 |
9.0 |
5.0 |
| Laju Pengulangan Maksimum (pps) |
SIMPLEKS-746 |
100 |
100 |
100 |
| SIMPLEKS-744 |
40 |
50 |
50 |
| SIMPLEKS-742 |
20 |
25 |
25 |
| SIMPLEKS-766 |
40 |
50 |
40 |
| SIMPLEKS-764 |
25 |
30 |
20 |
| SIMPLEKS-762 |
12 |
15 |
10 |
Durasi Pulsa(ns)
(FWHM, nominal) |
Seri IPEX-740/760 |
12 - 20 |
Dimensi berkas (mm)
Tambah jumlah bintik (nilai Tambah) |
Seri IPEX-740 |
12 x 26 |
| Seri IPEX-760 |
12 x 28 |
Divergence (RAD)
Tambah jumlah bintik (nilai Tambah) |
Seri IPEX-740/760 |
1 x 3 |
2. Ruang dengan lapisan vakum
1) 1 set komponen ruang vakum yang berkibar
Ukuran ruang vakum sferis Ф450mm. Terbuat dari baja tahan karat berkualitas tinggi. Dilas oleh busur argon. Permukaan disempurnakan oleh proses khusus. Antarmuka diberi seal dengan gasket logam atau cincin karet fluorin.
2) 1 unit komponen platform target putar
(1) empat target dapat dimuat pada saat bersamaan, ukuran target: (i) Φ60mm dan (ii) Φ25mm;
(2) setiap target dapat merealisasikan putaran, kecepatan rotasi adalah 5-60 rpm, dapat disetel secara terus-menerus, dikendalikan oleh mekanisme penghubung magnetik yang digerakkan motor;
(3) mekanisme posisi target revolusi diubah urutannya dikontrol oleh mekanisme kopling sambungan magnetik yang digerakkan motor.
(4) perisai material target 4 melindungi target, dan hanya satu target material yang disebut dalam film pada saat bersamaan, sehingga mencegah kontaminasi silang antar material target.
3) Susunan meja pemanas antioksidan 1
(1) ukuran substrat: φ2 tempat tidur bisa dipasang;
(2) suhu pemanasan substrat maksimal adalah 800±1, dikontrol oleh umpan balik thermocouple tertutup, dan heater ini terbuat dari bahan antioksidan.
(3) substrat dapat terus-menerus berputar, kecepatan adalah 5-60 rpm, dikendalikan oleh mekanisme kopling sambungan magnetik yang digerakkan motor;
(4) Jarak antara substrat dan platform target dapat disesuaikan dari 30 hingga 90mm dan dikontrol dengan mekanisme penyesuaian bellow manual di luar ruang;
(5) Komponen baffle sampel kontrol manual: 1 set;
(6) tempat sampel: 2;
4) Komponen antarmuka jendela dan flensa 1
5) Sistem kontrol pemindaian berkas sinar laser 1 diatur
Platform mekanis pemindaian dua dimensi, kontrol motor dua set, atau kontrol manual;
6) Saluran gas kerja 2 saluran
7) unit pemompaan gas, katup, saluran pipa 1 ditetapkan
8) 1 set susunan rangka pemasangan alat berat
Profil baja persegi berkualitas tinggi yang dilas dengan cepat, diturunkan pengolahan semprot permukaan yang cepat; permukaan alat berat dengan dekorasi kulit baja antikarat; empat kaster dapat diperbaiki dan bergerak
9) Pengukuran vakum dan sistem kontrol elektrik 1 ditetapkan
10) Sistem kontrol komputer 1 diatur
Foto terkait dengan sistem penimbunan laser percikan yang dapat disesuaikan:
Berdiri sejak tahun 2005, Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd., adalah perusahaan yang berspesialisasi pada pengembangan dan produksi alat penelitian teknologi laboratorium. Tetapi yang dihasilkan juga campuran, yang tertekan, dibakar, dipotong-potong, dipotong-potong, perangkat yang dipoles, berlapis, dan peralatan analitis, dan peralatan yang terkait. Produk termasuk peralatan laboratorium, peralatan pelapisan dan lain-lain. Saat ini, negara telah diekspor ke 25 negara dan kawasan seperti Amerika Serikat, Eropa, dan Asia Tenggara, dan telah diterima dengan baik oleh berbagai unit penelitian ilmiah.
Perusahaan kami memiliki tim riset dan pengembangan teknologi yang matang, jumlah teknisi 33, perusahaan ini memiliki 150 orang, lebih dari 500 meter persegi, area kantor, sekitar 1,500 meter persegi, yang berlokasi di Zhengzhou High-tech Industrial Electronic Park. Produk ini terutama terletak di pasar penelitian, memberikan riset ilmiah di lab universitas dan akademi, serta dapat menyesuaikan produk sesuai kebutuhan Anda.
T. Apakah Anda adalah pabrikan atau perusahaan dagang?
Kami adalah produsen alat laboratorium profesional, memiliki tim desain dan pabrik sendiri, memiliki pengalaman teknis yang matang, dan dapat menjamin kualitas produk dan harga optimal.
T. bagaimana sistem layanan purna jual produk perusahaan Anda?
A. periode garansi produk adalah 12 bulan, kami dapat memberikan perawatan seumur hidup. Kami memiliki pra-penjualan profesional dan departemen purna-penjualan yang dapat merespons Anda dalam waktu 24 jam untuk mengatasi masalah teknis apa pun.
T. berapa lama waktu pengiriman Anda? Jika saya ingin menyesuaikan instrumen, berapa lama waktu yang diperlukan?
A.1. Jika barang-barang tersebut ada, berarti 5-10 hari. 2. Kami dapat menyediakan layanan yang disesuaikan untuk pelanggan kami. Biasanya berlangsung selama 30-60 hari tergantung pada spesifikasi instrumen yang disesuaikan.
T. pasokan daya dan steker negara kami berbeda. Bagaimana cara mengatasinya?
A. kita dapat menyediakan trafo dan steker sesuai kebutuhan setempat dan steker listrik di berbagai negara.
T. bagaimana cara membayar?
A.T / T, L / C, D / P, dsb., disarankan untuk menggunakan Alibaba Trade Guarantee.
T. bagaimana paket barang ini? Metode penyampaian?
A.1. Fumigasi ekspor standar menandai kemasan kotak kayu 2. Express, udara, kapal laut sesuai dengan kebutuhan pelanggan, dapat menemukan cara yang paling sesuai.
Pertanyaan lainnya, harap hubungi layanan pelanggan
Pemasok yang Diaudit 
