Sistem Tungku Tabung Blast-Allipable Pecvd yang ringkas namun ringkas

• Layanan purna jual: dukungan online
• Garansi: 1 tahun
• Tipe: tungku tabung pengisian ulang
• Sertifikasi: CE, ISO
• Struktur: Tipe Horizontal
• Merek: pohon cemara
• Tidak. Model.: CY-O1200-50IC-
• suhu maks: 1200 c
• suhu pengoperasian: 1100c
• Paket Transportasi: Wooden Case
• Spesifikasi: 1200C
• Merek Dagang: CYKY
• Asal: Cina
• Kode HS: 85141090
• Kapasitas Produksi: 500 Sets Per Year

Deskripsi Produk

Tungku Tabung Blast (FHP) ringkas dengan tungku tabung RTP
 

Deskripsi Produk

Endapan uap kimia menggunakan teknologi deposisi uap bahan kimia yang ditingkatkan secara plasma, yang dapat menggunakan plasma energi tinggi untuk mendukung proses reaksi, meningkatkan kecepatan reaksi secara efektif dan mengurangi temperatur reaksi.

Hal ini cocok untuk menyimpan film tipis silikon niton, silikon orphus dan silikon mikroKristalin pada substrat yang berbeda seperti kaca optik, silikon, kwarsa dan baja stainless. Memiliki kualitas pembuatan film yang baik, lebih sedikit lubang jarum dan tidak mudah retak. Cocok untuk menyiapkan silikon bentuk maya dan mikrokristalin silikon tipis film perangkat sel surya. Hal ini dapat dipergunakan secara luas pada penelitian ilmiah dan persiapan kecil untuk bahan film tipis di College dan universitas dan Institut penelitian ilmiah.

 

Parameter Produk

 

Catu daya RF	Frekuensi sinyal	13,56MHz
	Rentang output daya	0 500W
	Daya maksimal yang dipantulkan	100W
	Daya yang dipantulkan (pada daya maksimum)	<5W
	Stabilitas Daya	±0.1%
Ruang Kerja	Temperatur pemanasan	RT-1000
	Akurasi kontrol temperatur	±1CELCIUS
	Tempat sampel	Φ200mm
	Kecepatan rotasi penahan sampel	1-20rpm dapat disetel
	Semprot kepala berukuran	Φ90mm
	Jarak	Jarak antara kepala semprot dan sampelnya 40-100mm dapat disesuaikan secara kontinu
	Vakum yang bekerja untuk deposisi	0. 133- 133Pa (bisa disesuaikan menurut proses teknis)
	Flensa	Flensa atas dapat diangkat dengan motor, dasar mudah diganti, dan ada jendela visual
	Ruang	Bahan baja tahan karat, Φ500mm * 500mm
	Jendela pengamatan	Φ100mm, dengan baffle
Suplai gas sistem	Nomor saluran	6
	Satuan ukuran	Pengontrol aliran massal
	Rentang pengukuran	A channel: 0 SCCM untuk H2	Keterangan: Jika memerlukan rentang lain, harap tentukan saat memesan. Sesuai dengan kebutuhan spesifik pelanggan, pengukur aliran jenis dan kisaran gas yang sesuai bersifat opsional.
		Saluran B: 0 SCCM untuk CH4
		Saluran C: 0 SCCM untuk C2H4
		Saluran C: 0. 500SCCM untuk N2
		D channel: 0. 500SCCM untuk NH3
		E channel: 0 500SCCM untuk Ar
	Akurasi pengukuran	±1.5%F.S
	Perbedaan tekanan kerja	-0,15Mpa 0,15Mpa
	Menghubungkan pipa	304 baja anti karat
	Saluran gas	304 katup jarum baja antikarat
	Spesifikasi antarmuka	konektor ferrule 1/4" untuk saluran masuk dan keluar gas
Sistem vakum	Pompa penopang	4,7L/s.
	Pompa molekuler	1200 L/s
	Pengukuran vakum	Pengukur vakum campuran, rentang 10^- 5610Pa
	Derajat vakum	5.0*10^-3Pa
Pendingin air	Temperatur air pendingin	<=37CELCIUS
	Aliran air	10L/mnt
	Daya	0,1KW
	Daya pendinginan	50W/CELCIUS
Catu daya		AC220V 50Hz

Produk menunjukkan: