Pemasok dengan izin usaha terverifikasi
Pemasok yang Diaudit | Daya Masuk | ·Satu fase 220 VAC, 50 / 60 Hz ·1000 W (termasuk pompa vakum dan pendingin air) |
| Sumber Daya | ·Generator RF 13.5 MHz, 100 W, yang disertai pencocokan manual dan terhubung ke kepala yang berplahir ·Rentang Beban: 0 - 80 dapat disetel. Rentang penyesuaian: -200j - 200j dapat disesuaikan ·Sakelar yang bisa diputar dapat mengaktifkan satu kepala berucap pada satu waktu. Sped Heads dapat di "in the plasma" (tidak ada jalan masuk vakum dan plasma selama proses multi-lapis) ·Dengan catu daya DC, sistem air dapat dengan mudah diubah menjadi sumber percikan DC 1" untuk tempat pembuangan lapisan logam, memungkinkan tiga konfigurasi DC, satu RF/dua DC, dan dua konfigurasi kepala yang kuat DC ·Generator RF opsional 300 W yang cocok secara otomatis tersedia dengan ekstra biaya |
| Magnetron Spibar Kepala |
·Tiga 1 kepala magnetron meludah dengan dilengkapi jaket pendingin air disertakan dan dimasukkan ke dalam ruang kuarsa melalui klem cepat ·Penggantian kabel RF dapat dibeli di YKIDS ·Satu rana yang dioperasikan secara manual dibangun di atas flensa ·Tersedia satu rumah resirkulasi yang dikontrol secara digital 10 L/mnt untuk menggunakan kepala yang berkibar pendingin |
| Target Spibar | ·Persyaratan ukuran target: Diameter 1" x ketebalan maks. 1/8 ·Jarak Sp.ucap: 80 - 50 mm bisa disesuaikan ·Rentang sudut yang memercik: 25 - 0 dapat disetel ·Sasaran Cu diameter 1" dan sasaran Al2O3 disertakan untuk pengujian demo ·Berbagai target oksida 1" tersedia atas permintaan di biaya tambahan ·Untuk pengikat target, termasuk pelat pendukung tembaga 1 mm dan 2 mm. |
| Ruang Vakum | ·Ruang vakum: 256 mm OD x 238 mm ID x 276 mm Tinggi, terbuat dari kemurnian tinggi kwarsa ·Flensa perapat: Dia 274 mm. Dibuat untuk Aluminium dengan o-ring silikon temperatur tinggi ·Rangka pelindung baja antikarat disertakan untuk perlindungan 100% Radiasi RF dari ruang ·Tingkat vakum maks.: 1,0E-5 Torr dengan pompa turbo opsional dan memanggang ruang |
| Tempat Sampel | ·Tempat sampel adalah tahap yang bisa diputar dan bisa dimakan yang dibuat pemanas keramik dengan tutup baja antikarat ·Ukuran penahan sampel: Dia 50 mm. Untuk. 2" wafer maks ·Kecepatan rotasi: 1 - 10 rpm dapat disetel untuk lapisan yang seragam ·SBP - ke- 600 - SBP -- maksimum 5 - 600 min. (Maks. 2 mnt. - 2 HR up 500 - 1 HR) dengan akurasi +/- 1.0 SBP melalui pengontrol suhu digital |
| Pompa Vakum | ·Port vakum KF40 terpasang untuk menghubungkan ke pompa vakum. ·Tingkat vakum: 1,0E-2 Torr dengan pompa mekanis dua tahap yang disertakan 1,0E-5 Torr dengan pompa turbo opsional |
| Ukuran | 540 mm P x 540 mm x L 1000 mm H |
| Berat bersih | 60 kg |
| Kepatuhan | Persetujuan CE |
| Garansi | Garansi terbatas selama satu tahun dengan dukungan seumur hidup |
Pemasok dengan izin usaha terverifikasi
Pemasok yang Diaudit 
