Lss-160 Alat berat Lapisan berkibar Magnetron

• After-sales Service: 24 Months
• Warranty: 24 Months
• ukuran wafer: ≤6 inci
• Paket Transportasi: Carton
• Spesifikasi: 170*130*180
• Merek Dagang: CHHGC
• Tidak. Model.: LSMS-160
• Asal: China
• Kapasitas Produksi: 5000 Pieces/Year

Deskripsi Produk

PENGENALAN PRODUK

Tujuan: Menggunakan metode meludah ke

endapan beberapa mikron dari film yang tipis di

permukaan sampel, termasuk berbagai

logam, semikonduktor, feromagnetik

bahan, serta oksida insulasi,

keramik dan bahan-bahan lain.
PARAMETER PRODUK

Ukuran wafer

≤6 inci

Derajat vakum

10 -8 Torr

Kesalahan keseragaman ketebalan

<5%

Ketebalan yang memercik

0-300 nm

Material yang memercik

Al, Cu, gr, Co, Fe, NI, PT, Ag, TiO2, NiFe, dan NiMn,dll.

Ukuran

170 cm*130 cm*180 cm