Mesin Pelapisan Magnetron Vakum Peralatan Pelapisan Logam Efisien

• Kustomisasi: Tersedia
• Garansi: satu tahun
• Pelapisan: Lapisan vakum
• Tidak. Model.: DM200-250
• Substrat: Baja
• Sertifikasi: CE, ISO adalah singkatan dari International Organization for Standardization.
• Kondisi: Baru
• Paket Transportasi: kotak kayu
• Spesifikasi: disesuaikan
• Merek Dagang: acme
• Asal: Cina
• Kapasitas Produksi: 5000

Deskripsi Produk

Deskripsi Produk

Sistem lapisan ini merupakan struktur ruang vakum yang melingkar, dengan saluran gas buang di bagian belakang dan struktur pintu depan, dan terbuat dari baja anti karat austenitic berkualitas tinggi. Satu (dua) target magron berukuran 2 inci (atau 3 inci) terpasang di pelat atas ruang pembuangan yang meludah. Arah dari sinar keluar adalah dengan menggunakan rak substrat dan sebuah film tipis akan diambil pada substrat tersebut. Peralatan ini memiliki struktur sederhana dan dapat digunakan untuk meneliti dan mengembangkan film fungsional satu lapis nano, seperti film keras, film logam, film semikonduktor, film dielektrik, film komposit, film feromagnetik, film magnetis, dan bahan film tipis lainnya. .

Parameter utama sistem

L dengan derajat vakum yang sempurna: ≤6 penukar ASCII 10-5Pa (dengan suhu 12 jam di bawah kebersihan + memanggang dan kondisi degassing);

l kali menyedot debu: Dalam 30 menit, 6 10 penukar ASCII ≤-4Pa;

Suhu pemanasan Sub-tanah: ≤600;

L Substrat size: ≤Φ3inch wafer;

jumlah l rak substrat: 1 set;

l Ukuran target: Diameter 50mm (opsional 3 inci);

l jumlah target: 1 atau 2;

Ukuran ruang vakum l: DN250*340 (dapat disesuaikan dengan tepat sesuai kondisi sebenarnya);

Jarak gerakan rak Substrat l: ≤50mm (arah aksial);

Sudut l antara sumbu target dan sumbu rotasi substrat: Co-sprveral;

Sistem gas l: Pemasukan udara 2 arah, 1 di antaranya digunakan untuk gas buang;
 

Item		Spesifikasi dan Deskripsi
Ruang Vakum	Ruang vakum yang berkibar	DN220*320, ukurannya dapat disesuaikan berdasarkan persyaratan desain, penutup atas dapat dibuka, dan pintu dapat dibuka
	Katup throttle vakum yang ultra-tinggi	DN100, kontrol elektrik, fungsi tekanan konstan otomatis opsional
	Pompa molekuler	Pompa molekuler 110L/S atau 150L/S.
	Pompa mekanis	Pompa pemutar DVR16, juga berfungsi sebagai pompa pra-pompa dan pompa tahap depan
	Katup baffle	Katup baffle elektromagnetik DN25, saluran pipa pra-pompa aktif
	Katup Stop	katup penghenti elektrik antarmuka ferrule ganda 6mm
	Perangkat pencahayaan dan memanggang	Opsional
	Berbagai tipe flensa dan jendela observasi	DN16, 35, 63, 100, 150
	Pipa baja antikarat, sambungan pipa	Berbagai spesifikasi pipa baja antikarat presisi, bellow, sambungan pipa
Pengukuran vakum dan pemasukan udara	Pengukur tekanan vakum komposit digital	5227 gauge vakum komposit atau pengukur full-range impor opsional
	Pengukur logam kosong	ZJ52T, antarmuka logam ZJ27
	Pengontrol aliran massal	Kontroler aliran massa D07-7B, rentang 100sccm
	Pipa dan konektor	Ruang gas campuran
	Katup Stop	katup penghenti elektrik antarmuka ferrule ganda 6mm
	Antarmuka jaringan masuk dan kontrol lainnya	Tersedia umpan balik untuk kontrol elektrik katup pengatur tekanan
Rak sampel	Rak substrat berputar	Rotasi substrat, pengangkatan rak bawah
	Peralatan pengangkat	Mengangkat penyetelan manual
	Perangkat pemanas terbuka	Perangkat pemanas ≤600 derajat opsional
	Catu daya kontrol temperatur	Kontrol suhu Sumden Jepang, kontrol suhu PID
Sistem Spibar	Target kontrol magnetik memercik	Target spated, opsional 2 inci atau 3 inci, dengan baffle
	Catu daya Spsemburat	500W DC atau RF opsional
	Rak peralatan	Tata letak terpadu
	Sistem air dan gas	Termasuk mesin air pendingin
	Sistem kontrol	Kontrol otomatis layar sentuh opsional manual standar

Parameter utama sistem:
L dengan derajat vakum yang sempurna: ≤5 penukar ASCII 10-5Pa (dengan suhu 12 jam di bawah kebersihan + memanggang dan kondisi degassing);

l kali menyedot debu: Dalam 40 menit, 5 10 penukar ASCII ≤-4Pa;

Suhu pemanasan Sub-tanah: ≤600 (pemanasan lampu yodium tungsten);

L Substrat size: ≤Φ3inch round wafer;

l Ukuran target: 2 inci atau 3 inci;

l jumlah target: 3;

Tambah bintik pada 400 Tambah bintik di Tambah 400 Tambah penukar ascii ( Tambah bintik-bintik) pada Tambah 450 tambah bintik tergantung pada kondisi sebenarnya).

Jarak gerakan rak Substrat l: ≤50mm (arah aksial);

Sudut l antara sumbu target dan sumbu rotasi substrat: Co-sprveral;

Sistem gas l: Pemasukan udara 4 arah, 1 di antaranya adalah pembuangan;

Alat berat dengan lapisan kecil ini memiliki struktur yang ringkas dan tampilan yang sederhana dan elegan. Alat berat ini mudah dioperasikan dan dirawat serta memiliki biaya pengoperasian yang rendah. Unit utama dan sistem kontrol elektronik perangkat ini menggunakan desain yang terpadu. Unit utama terdiri dari rak peralatan, sistem pemompaan, dan ruang vakum. Proses pelapisan ini dilakukan di ruang vakum yang berkibar; komponen kontrol elektronik mengadopsi kabinet kontrol standar, yang berisi berbagai kotak plug-in modular. Sistem ini bertenaga dan memiliki kinerja yang stabil.

Parameter dasar dari alat berat lapisan ultra-tinggi magnetron meludah berkibar adalah sebagai berikut:

L ruang vakum yang sangat besar: ≤6 halaman penukar ASCII 10-5Pa;

l waktu memompa: Lebih baik daripada 6 Tambah penukar ASCII 10-4Pa dalam 30 menit.

Tambah bintik di l: 300 300 Tambah bintik pada penukar ASCII, ruang vakum yang terbuat dari baja anti karat.

l Ukuran dan jumlah target: 2 φ50mm Target magnet permanen;

Jarak L Target-substrat dapat disesuaikan (40 mm, disesuaikan menurut posisi target);

Rotasi Sub-L: 0-60 rpm dapat disesuaikan; dilengkapi pemanas, dapat dipanaskan hingga 500 derajat;

Ukuran L Mesin utama: Pada Tambah penukar ASCII lebar [ 650mm]

l jenis gas: 2-arah MFC, gas kerja Ar+gas reaksi;

Pengukuran ketebalan film l: Dilengkapi dengan satu set pengukur ketebalan film kuarsa dan probe asal (opsional);

Sistem Kontrol l: Kontrol layar sentuh + PLC diadopsi untuk mengontrol start dan stop pompa, katup, dan berbagai alarm output;
 

Parameter utama sistem:

L dengan derajat vakum yang sempurna: ≤5 penukar ASCII 10-5Pa (dengan suhu 12 jam di bawah kebersihan + memanggang dan kondisi degassing);

l kali menyedot debu: Dalam 40 menit, 5 10 penukar ASCII ≤-4Pa;

Suhu pemanasan Sub-tanah: ≤600 (pemanasan lampu yodium tungsten);

L Substrat size: ≤Φ3inch round wafer;

l Ukuran target: 2 inci atau 3 inci;

l jumlah target: 4;

Tambah jumlah penukar ascii: 500 500 Tambah penukar ascii pada tambah jumlah penukar ascii.

Jarak gerakan rak Substrat l: ≤50mm (arah aksial);

Sudut l antara sumbu target dan sumbu rotasi substrat: Co-sprveral;

Sistem gas l: 4 inmengambil udara, 1 diantaranya untuk gas buang;

   

Parameter dasar dari alat berat lapisan ultra-tinggi magnetron meludah berkibar adalah sebagai berikut:

L ruang vakum yang sangat besar: ≤6 halaman penukar ASCII 10-5Pa;

l waktu memompa: Lebih baik daripada 8 Tambah penukar ASCII 10-4Pa dalam 30 menit.

Tambah penukar ascii ke tambah penukar ascii. Tambah jumlah fpenukar ascii.

l Ukuran dan jumlah target: 2 φ50mm Target magnet permanen (terintegrasi);

l Catu daya yang berucap: 2 500w digital DC mengalirkan listrik yang berucap;

Kontrol Tekanan l, dilengkapi dengan pengukur film dan katup kupu-kupu elektrik untuk mencapai kontrol tekanan yang konstan;

l Jarak bergerak horizontal 0 mm, dilengkapi dengan pelat isolasi untuk menghindari terak selama gerakan;

l Sistem tekan panas: Suhu pemanasan substrat bawah: 0 600 terus dapat disesuaikan. Pelat atas dikendalikan secara pneumatik untuk menekan ke bawah;

Ukuran unit Utama l: Panjang ASCII ASCII lebar penukar ASCII 600mm, lebar ASCII 600 mm; (ukuran akan disesuaikan dengan kebutuhan)

l jenis gas: Pengontrol aliran massa 2-arah, pemasukan udara 2-arah;

Profil Perusahaan

Perusahaan kami dapat memberikan solusi desain sistem lapisan vakum yang dapat didiversifikasi, dapat mencapai endapan lapisan film bersama, deposisi multi-lapis, film isolasi, dan persiapan film campuran, memenuhi persyaratan persiapan film dalam berbagai bidang. Alat berat lapisan evaporasi multi fungsi yang sudah dikembangkan banyak digunakan dalam penelitian dan pengembangan produk OLED dan OPV. Berdasarkan konfigurasi standar, perusahaan kami dapat menyesuaikan alat berat dengan lapisan untuk tujuan tertentu, instrumen desain portabel, instrumen pengujian, dan produk vakum non-standar sesuai kebutuhan pelanggan.

 

Profesional

Kemasan & Pengiriman

Kepuasan pelanggan, tanggung jawab kami!
"Perpaduan, kejakan inisiatif dan   inovasi adalah   esensi     dari budaya perusahaan  ACME.IT    sudah berakar dalam     di dalam filosofi bisnis  
" Kepuasan pelanggan,  tanggung jawab kami!", izin  untuk melebihi   harapan pelanggan  dan  memenangkan   kepercayaan     banyak perusahaan ternama.
ACME  menyediakan  layanan profesional, cepat dan berdedikasi untuk setiap pelanggan.Pre-sales,penjualan  dan   After-sales, penyedialayanan Service,  kota, dan wilayah di negara tersebut,dan  mendirikan  kantor  di   area konsentrasi pelanggan. daya ACME,layanan  tersedia    di samping Anda.
 Sebagai urutan  untuk menciptakan      pemasok daya emas global, ACME  mengambil  "Technology  Prioritas, Kualitas yang dapat diandalkan  dan   Satriumans pelanggan"sebagai  upaya yang paling utama, patuhi    tendkami yang rendah  "  Kepuasan Pelanggan",  dengan hati-hati membentuk    citra  merek ACME  Energy  Dan  menyediakan     pelayanan purna jual tercepat dan paling efisien bagi pelanggan  Layanan. pada  saat bersamaan, memberikan   pelatihan yang komprehensif    bagi pelanggan, secara aktif mengorganisasi
 pertukaran teknis,mencapai  pertumbuhan umum, hingga mencapai sasaran yang dapat diraih;

1)Respons cepat:
 Customer Service Engineering menyediakan dukungan 7X24 jam     untuk dukungan teknis produk  dan   konsultasi solusi.   Respons layanan lapangan:
Kota:tiba dalam  waktu 2 jam  (dengan   kota outlet layanan); di    dalam provinsi: Tiba  dalam  waktu 24  jam;
Di luar  provinsi ini:tiba  dalam waktu 48  jam;
Selain itu, ACME memiliki layanan khusus setelah penjualan, menyediakan   layanan respons darurat, dapat  tiba    di lokasi    dengan  waktu tercepat.

2)24/7 mekanisme servis:
365 hari:layanan harian,  layanan    konsultasi 24 jam,    sepanjang waktu;
dukungan teknis selama 24 jam, telah dipotong dengan mudah;
layanan di lokasi 24 jam untuk memastikan ketenangan   pikiran;

3)Tim servis:
Tim dukungan pra-penjualan:konsultasi teknis pra-penjualan profesional yang disediakan     oleh staf profesional dan teknis; tim dukungan teknis:layanan purna jual yang bijak yang disediakan     oleh teknisi servis profesional seusai penjualan;
   Petugas penanganan keluhan pelanggan:menerima    keluhan yang tinggi   dari pelanggan, tangani   mereka dengan cepat, dan  berikan   umpan balik yang tepat waktu.

4)Rencana Servis Kemanusiaan
 Panduan jarak jauh:menyediakan  dukungan teknis  seperti   telepon dan   surat jauh;      layanan di lokasi: Pemeliharaan video,  dukungan teknis,  dan   layanan lainnya;
Layanan inspeksi:menyediakan layanan inspeksi berkeliling pengembalian berkala;
Layanan stagnasi yang  jangka panjang:menyediakan layanan stagnasi yang  diperlukan  untuk proyek ini.