Kustomisasi: | Tersedia |
---|---|
Layanan purna jual: | 24 jam setelah layanan penjualan |
Garansi: | 1 tahun |
Masih ragu? Dapatkan sampel $!
Minta Sampel
|
Pemasok dengan izin usaha terverifikasi
Diaudit oleh lembaga inspeksi pihak ketiga yang independen
Mesin JJinan ACME MW1070 MPCVD | ||
Vakum | Pengukuran vakum | Indeks resistif ukuran 0.1-100kpa Capackapasitansi 0-1000Pa |
Kisaran tekanan pengoperasian | 4-28Kpa | |
Laju kebocoran vakum | ≤ 5 * 10-9Pa.M3/S (deteksi kebocoran) | |
Kontrol tekanan | Kontrol Otomatis | |
Bahan cavity | Ruang eksitasi campuran aluminium, ruang vakum kwarsa | |
Jendela pengamatan | Lubang pengukuran suhu dengan diameter 10 mm dan jendela observasi lubang port | |
Mode pendinginan | Mode pendinginan | Pendinginan air+pendinginan udara ruang |
Contoh ukuran tabel | Tahap molibdenum Φ 70mm, area seragam Φ 50mm | |
Pengukuran suhu | Termometer inframerah, berkisar 300-1400 derajat celcius | |
Aliran air pendingin | >50L/mnt | |
Temperatur air pendingin | 20-22CELCIUS | |
Antarmuka air pendingin | antarmuka kabel luar 1-inci | |
Sistem operasi | Sistem operasi | Kontrol PLC, kontrol layar sentuh 15 inci |
Menu proses | 10 menu proses, 25 baris untuk masing-masing menu | |
Microwave dan catu daya | Frekuensi microwave | 2.45±0,1GHz |
Daya keluaran | 1.5-7,5KW (dilengkapi dengan catu daya microwave domestik 10kw) | |
Listrik tenaga input | 380 AC/50Hz, lima kabel tiga fase (3 * 10+2 * 6 jalur daya),>15Kw | |
Laju kebocoran microwave | Laju kebocoran microwave 5 cm dari peralatan ≤ 5MW/cm2 | |
Gas proses | Meter Aliran dan antarmuka | H2 (1000SCCM) CH4 (50SCCM) N2 (10SCCM) O2 (10SCCM) 1/4 "VCR Steker cepat tabung kompresi 8mm Pu betina |
Flowmeter (Alur bunga) dapat mengubah jenis gas yang digunakan melaluinya perangkat lunak | ||
Tekanan suplai udara | 0.3-0,35MPa | |
Tekanan udara kompresi | 0.5-0,6MPa | |
Pompa vakum | Pompa vakum putar bilah | Pompa oli |
Kecepatan pemompaan | 4L/S | |
Catu daya | AC 380V(±10%) | |
Antarmuka | KF25, KF25, udara buang 25 | |
Lingkungan pengoperasian | Suhu dan kelembapan sekitar | Suhu ruangan di bawah 26 derajat celcius dan kelembapan lebih rendah dari 40% |
Dimensi keseluruhan peralatan | Ukuran | TAMBAH BINTIK PADA 800 ( L) PADA TAMBAH 1250 [ W ) PADA TAMBAH BINTIK 2100 ( H ) |
Tampilan peralatan | ||
Kondisi penerimaan peralatan: | 1. Instalasi peralatan: Setelah pemasangan peralatan selesai, Party A dan Party B akan melakukan pekerjaan di lokasi, dan teknisi Partai B akan melakukan operasi peralatan, pelatihan keselamatan dan perawatan bagi orang yang bertanggung jawab atas Partai A. | |
2. Tes sistem: Sistem dapat dinyalakan dan dioperasikan secara normal, dan bola api yang dilepas stabil tanpa melompat. | ||
3. Kebocoran microwave: Kebocoran microwave kurang dari 5mW/cm2 (daya output sumber microwave lebih dari 80%, 10 cm dari peralatan) |